[实用新型]用于大尺寸热沉金刚石制备的磁旋转直流电弧等离子体炬有效
| 申请号： | 202021316028.3 | 申请日： | 2020-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN212163809U | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 裴珍玉;张代涛 | 申请（专利权）人： | 天津市宝利欣超硬材料有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/34 | 分类号： | H05H1/34;H05H1/28 |
| 代理公司： | 天津企兴智财知识产权代理有限公司 12226 | 代理人： | 蒋宏洋 |
| 地址： | 300402 天津市北*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 尺寸 金刚石 制备 旋转 直流 电弧 等离子体 | ||
1.一种用于大尺寸热沉金刚石制备的磁旋转直流电弧等离子体炬，其特征在于：包括处于中心轴处的阴极(1)以及同心套装在阴极(1)外部的至少一个圆筒状辅助电极(3)；阴极(1)和辅助电极(3)之间以及相邻的辅助电极(3)之间均设有隔离密封环(4)；最外层的辅助电极(3)外部套装有阳极(2)，阳极(2)整体呈环形，阳极(2)下端向内收拢成弧形(12)，该弧形(12)位于阴极(1)的下方；阳极(2)外部套有稳弧磁场线圈(8)；稳弧磁场线圈(8)下方设置有扩弧磁场线圈(9)。
2.根据权利要求1所述的用于大尺寸热沉金刚石制备的磁旋转直流电弧等离子体炬，其特征在于：阴极(1)、辅助电极(3)、阳极(2)内均设置有进出水导管(7)，进出水导管(7)内循环有冷却所用的循环水。
3.根据权利要求1所述的用于大尺寸热沉金刚石制备的磁旋转直流电弧等离子体炬，其特征在于：阳极(2)的横截面为圆形或椭圆形。
4.根据权利要求1所述的用于大尺寸热沉金刚石制备的磁旋转直流电弧等离子体炬，其特征在于：辅助电极(3)下部设置有加宽的凸体(13)。
5.根据权利要求1所述的用于大尺寸热沉金刚石制备的磁旋转直流电弧等离子体炬，其特征在于：阳极(2)与最内侧辅助电极(3)之间的隔离密封环(4)上开有第一进气管道(5)。
6.根据权利要求1所述的用于大尺寸热沉金刚石制备的磁旋转直流电弧等离子体炬，其特征在于：相邻辅助电极(3)之间的隔离密封环(4)上开有第二进气管道(6)。
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