[实用新型]一种碳化硅晶圆无尘存放装置有效
| 申请号： | 202021303712.8 | 申请日： | 2020-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN213010074U | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 莫景钊;叶纬;莫景新 | 申请（专利权）人： | 广东唯是晶圆科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G1/04 | 分类号： | B65G1/04;B08B1/02;B08B1/00;B08B5/02 |
| 代理公司： | 北京卓特专利代理事务所(普通合伙) 11572 | 代理人： | 段宇 |
| 地址： | 529000 广东省江门*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种碳化硅晶圆无尘存放装置，包括第一输送带及存放室，第一输送带的上方设有毛刷辊及吹气管，存放室内设有第一升降输送装置及存放架，存放室设有进入口，第一输送带通过进入口与所述第一升降输送装置的一端连接，第一升降输送装置的另一端与存放架的一端连接，存放架设有若干个存放腔，升降输送装置可升降与存放腔连接，本实用新型可对晶圆进行除尘输送、无尘存放的碳化硅晶圆无尘存放装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 晶圆无尘 存放 装置 | ||
【主权项】：
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