[实用新型]一种膜厚控制装置及磁控溅射机有效
| 申请号： | 202021237343.7 | 申请日： | 2020-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN212770938U | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 周群;徐生辉;郭浩 | 申请（专利权）人： | 常州星宇车灯股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/35 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 马晓敏 |
| 地址： | 213022 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种膜厚控制装置及磁控溅射机，涉及零件镀膜技术领域，所述膜厚控制装置包括与靶材相邻设置的遮挡结构；所述遮挡结构包括支撑杆，以及若干依次相邻设置的挡板；所述挡板位于所述靶材的上方，且所述挡板与所述支撑杆活动连接。本实用新型提供的膜厚控制装置，设置与靶材相邻的遮挡结构，通过在遮挡结构中设置若干个与支撑杆活动连接的挡板，从而能够根据零件的镀膜需求来对相应的挡板的位置进行调节，通过调节挡板的位置来改变对靶材的遮挡区域以及遮挡面积，进而实现对镀膜区域和镀膜厚度进行精确控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 控制 装置 磁控溅射 | ||
【主权项】：
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