[实用新型]一种膜厚控制装置及磁控溅射机

说明书

本实用新型提供一种膜厚控制装置及磁控溅射机，涉及零件镀膜技术领域，所述膜厚控制装置包括与靶材相邻设置的遮挡结构；所述遮挡结构包括支撑杆，以及若干依次相邻设置的挡板；所述挡板位于所述靶材的上方，且所述挡板与所述支撑杆活动连接。本实用新型提供的膜厚控制装置，设置与靶材相邻的遮挡结构，通过在遮挡结构中设置若干个与支撑杆活动连接的挡板，从而能够根据零件的镀膜需求来对相应的挡板的位置进行调节，通过调节挡板的位置来改变对靶材的遮挡区域以及遮挡面积，进而实现对镀膜区域和镀膜厚度进行精确控制。

技术领域

本实用新型涉及零件镀膜技术领域，具体而言，涉及一种膜厚控制装置及磁控溅射机。

背景技术

目前，在车灯零件磁控溅射镀膜的工艺过程中，需要使用相应的挡板实现对磁控溅射靶材的遮挡。通常使用的挡板为整体式装卸遮挡，仅作为简单靶材遮挡作用。这种普通的挡板无法实现零件磁控溅射镀膜过程中的局部遮挡靶材功能，不能有效起到准确控制零件膜厚的作用。

实用新型内容

本实用新型解决的问题是目前磁控溅射过程中无法实现对靶材的局部遮挡。

为解决上述问题，本实用新型提供一种膜厚控制装置，包括与靶材相邻设置的遮挡结构；所述遮挡结构包括支撑杆，以及若干依次相邻设置的挡板；所述挡板位于所述靶材的上方，且所述挡板与所述支撑杆活动连接。将传统的整体结构的遮挡板设置为若干个分体结构的挡板，进而通过对单个的挡板进行调节，来实现对靶材的局部进行遮挡，实现零件磁控溅射镀膜过程中的局部遮挡靶材以及可控镀膜。

可选地，所述遮挡结构的数量为两个，两个所述遮挡结构分别设置于所述靶材的两侧。通过两个遮挡结构的遮挡作用对零件上的镀膜区域进行控制，进而实现对镀膜厚度的控制，提高对镀膜控制的精确度。

可选地，所述挡板为方形的板状结构。通过规则的方形结构来扩大该膜厚控制装置的使用范围。

可选地，所述遮挡结构还包括调节装置，所述挡板与所述支撑杆通过所述调节装置相连。

可选地，所述调节装置包括设置于所述挡板上的导向孔，以及设置于所述支撑杆上的限位孔，所述限位孔与所述导向孔相适配，所述导向孔为长形孔，且所述导向孔向所述靶材的方向延伸；所述调节装置还包括与所述限位孔相适配的螺钉，以及与所述螺钉相适配的螺母，所述螺钉依次穿过所述限位孔与所述导向孔，通过将所述螺母与所述螺钉相连，实现对所述挡板以及所述支撑杆的连接。

可选地，所述导向孔的内侧设置有第一齿状结构，所述螺钉的外侧设置有与所述第一齿状结构相适配的第二齿状结构，所述第二齿状结构与所述第一齿状结构相啮合。

可选地，所述调节装置包括设置于所述支撑杆上端的滑块，以及设置于所述挡板下端的滑槽，所述滑块与所述滑槽相适配，所述滑槽为长形槽，且所述滑槽向所述靶材的方向延伸。

可选地，相邻设置的所述挡板之间滑动连接。

本实用新型的另一目的在于提供一种磁控溅射机，包括如上所述的膜厚控制装置。

与现有技术相比，本实用新型提供的膜厚控制装置具有如下优势：

本实用新型提供的膜厚控制装置，设置与靶材相邻的遮挡结构，通过在遮挡结构中设置若干个与支撑杆活动连接的挡板，从而能够根据零件的镀膜需求来对相应的挡板的位置进行调节，通过调节挡板的位置来改变对靶材的遮挡区域以及遮挡面积，进而实现对镀膜区域和镀膜厚度进行精确控制。

附图说明

图1为本实用新型所述的膜厚控制装置的结构简图。

附图标记说明：

1-支撑杆；2-挡板；21-导向孔；3-螺母；4-靶材。

具体实施方式