[实用新型]一种超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具及蚀刻设备有效
| 申请号: | 202021229373.3 | 申请日: | 2020-06-29 |
| 公开(公告)号: | CN212833483U | 公开(公告)日: | 2021-03-30 |
| 发明(设计)人: | 赖耀升;江建志;周俊强 | 申请(专利权)人: | 恩利克(浙江)智能装备有限公司 |
| 主分类号: | C03C15/00 | 分类号: | C03C15/00 |
| 代理公司: | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人: | 王大国 |
| 地址: | 314107 浙江省嘉兴市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具及蚀刻设备,蚀刻篮具包括两块相对的侧板,侧板上设置有旋转轴,两块侧板之间设置有固定底杆、固定侧杆和活动顶杆,活动顶杆与侧板可拆卸连接,两块侧板之间设置有若干框架固定组件,框架固定组件形成框架固定区,框架固定区平行于侧板,所述框架固定组件包括若干定位夹块,定位夹块分布于固定侧杆上,蚀刻篮具包括移动平台和蚀刻槽,蚀刻槽位于移动平台下方,所述移动平台上设置有两个悬臂,蚀刻篮具的两个旋转轴分别与两个悬臂连接,所述悬臂上设置有驱动电机,驱动电机连接旋转轴,本实用新型采用加旋转轴的蚀刻篮具,蚀刻液流动均匀,提升超薄玻璃基板的表面以及相互之间的薄化均匀性。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 超薄 玻璃 基板减薄 蚀刻 设备 | ||
【主权项】:
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