[实用新型]一种超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具及蚀刻设备

说明书

本实用新型公开了一种超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具及蚀刻设备，蚀刻篮具包括两块相对的侧板，侧板上设置有旋转轴，两块侧板之间设置有固定底杆、固定侧杆和活动顶杆，活动顶杆与侧板可拆卸连接，两块侧板之间设置有若干框架固定组件，框架固定组件形成框架固定区，框架固定区平行于侧板，所述框架固定组件包括若干定位夹块，定位夹块分布于固定侧杆上，蚀刻篮具包括移动平台和蚀刻槽，蚀刻槽位于移动平台下方，所述移动平台上设置有两个悬臂，蚀刻篮具的两个旋转轴分别与两个悬臂连接，所述悬臂上设置有驱动电机，驱动电机连接旋转轴，本实用新型采用加旋转轴的蚀刻篮具，蚀刻液流动均匀，提升超薄玻璃基板的表面以及相互之间的薄化均匀性。

技术领域

本实用新型属于超薄玻璃减薄设备领域，更具体的说涉及一种超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具及蚀刻设备。

背景技术

申请号为2017213766662的中国专利公开了一种玻璃基板减薄蚀刻机，包括蚀刻槽、置物架、支架、滑轨、滑块、第一气缸、升降架、第二气缸、PLC控制柜；所述蚀刻槽的上方固定有支架，所述支架上设有水平设置的滑轨，所述滑轨上滑动设有滑块，滑块上设有沿竖直方向伸缩的第一气缸，第一气缸的伸缩杆的下端设有升降架，升降架与蚀刻槽内的置物架连接，所述支架上还设有沿水平方向伸缩的第二气缸，第二气缸的伸缩杆与滑块连接；所述第一气缸和第二气缸均与PLC控制柜连接；所述置物架包括长方形的框架、支撑板和玻璃支撑架，所述框架上设有若干个平行设置的玻璃支撑架，所述框架的底部设有用于支持玻璃基板的支撑板，支撑板与玻璃支撑架相互垂直，所述支撑板上设有与玻璃支撑架一一对应且配合使用的卡槽。

用传统的液晶面板玻璃薄化工艺，将高铝玻璃基板放在蚀刻篮具(置物架)，浸入带气泡扰动的氢氟酸蚀刻槽中蚀刻薄化，只能将玻璃基板母片薄化到100μm左右。用同样的方法再薄下去，玻璃基板厚度均匀性很差，也很容易破片，良品率非常低。为了将玻璃继续薄化到50μm以下，达到可折叠的程度(R1.5mm)，必须将玻璃加框支撑住，才能继续后续的薄化制程，以及激光切割开料工艺。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种加旋转轴的蚀刻篮具，蚀刻液流动均匀，提升超薄玻璃基板的表面以及相互之间的薄化均匀性。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：一种超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具，包括两块相对的侧板，侧板上设置有旋转轴，两块侧板之间设置有固定底杆、固定侧杆和活动顶杆，活动顶杆与侧板可拆卸连接，两块侧板之间设置有若干框架固定组件，框架固定组件形成框架固定区，框架固定区平行于侧板，所述框架固定组件包括若干定位夹块，定位夹块分布于固定侧杆上。

进一步的定位夹块分布于固定侧杆和固定底杆上。

进一步的所述侧板对应活动顶杆处开设有通孔，活动顶杆的两端均设置有螺纹，所述活动顶杆的两端穿过通孔并通过螺母紧固固定。

进一步的所述固定底杆、固定侧杆和活动顶杆均至少设置有两根。

一种具有蚀刻篮具的超薄玻璃基板减薄的蚀刻设备，包括移动平台和蚀刻槽，蚀刻槽位于移动平台下方，所述移动平台上设置有两个悬臂，蚀刻篮具的两个旋转轴分别与两个悬臂连接，所述悬臂上设置有驱动电机，驱动电机连接旋转轴。

进一步的所述蚀刻槽包括内槽和外槽，内槽位于外槽内且与外槽之间留有间隔，所述内槽底部连接有流入管道，流入管道穿过外槽至外部，所述外槽底部连接有流出管道。

进一步的所述内槽的高度低于外槽。

进一步的所述内槽的侧壁上开设有若干溢流孔。

进一步的所述内槽靠近底部处设置有PP泡棉，PP泡棉位于流入管道上方。

进一步的所述蚀刻篮具、蚀刻槽和悬臂表面均包覆有铁氟龙或PP。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：