[实用新型]一种超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具及蚀刻设备

权利要求书

1.一种超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具，其特征在于：包括两块相对的侧板，侧板上设置有旋转轴，两块侧板之间设置有固定底杆、固定侧杆和活动顶杆，活动顶杆与侧板可拆卸连接，两块侧板之间设置有若干框架固定组件，框架固定组件形成框架固定区，框架固定区平行于侧板，所述框架固定组件包括若干定位夹块，定位夹块分布于固定侧杆上。

2.根据权利要求1所述的超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具，其特征在于：定位夹块分布于固定侧杆和固定底杆上。

3.根据权利要求1所述的超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具，其特征在于：所述侧板对应活动顶杆处开设有通孔，活动顶杆的两端均设置有螺纹，所述活动顶杆的两端穿过通孔并通过螺母紧固固定。

4.根据权利要求1所述的超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具，其特征在于：所述固定底杆、固定侧杆和活动顶杆均至少设置有两根。

5.一种具有如权利要求1-4中任意一项所述蚀刻篮具的超薄玻璃基板减薄的蚀刻设备，其特征在于：包括移动平台和蚀刻槽，蚀刻槽位于移动平台下方，所述移动平台上设置有两个悬臂，蚀刻篮具的两个旋转轴分别与两个悬臂连接，所述悬臂上设置有驱动电机，驱动电机连接旋转轴。

6.根据权利要求5所述的超薄玻璃基板减薄蚀刻设备，其特征在于：所述蚀刻槽包括内槽和外槽，内槽位于外槽内且与外槽之间留有间隔，所述内槽底部连接有流入管道，流入管道穿过外槽至外部，所述外槽底部连接有流出管道。

7.根据权利要求6所述的超薄玻璃基板减薄蚀刻设备，其特征在于：所述内槽的高度低于外槽。

8.根据权利要求6所述的超薄玻璃基板减薄蚀刻设备，其特征在于：所述内槽的侧壁上开设有若干溢流孔。

9.根据权利要求6所述的超薄玻璃基板减薄蚀刻设备，其特征在于：所述内槽靠近底部处设置有PP泡棉，PP泡棉位于流入管道上方。

10.根据权利要求6所述的超薄玻璃基板减薄蚀刻设备，其特征在于：所述蚀刻篮具、蚀刻槽和悬臂表面均包覆有铁氟龙或PP。