[实用新型]一种改进型称重传感器光刻设备有效
| 申请号： | 202021213867.2 | 申请日： | 2020-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN212083891U | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 刘爱平;耿冬霞 | 申请（专利权）人： | 盐城市世波电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京和联顺知识产权代理有限公司 11621 | 代理人： | 闫超良 |
| 地址： | 224400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光刻设备技术领域，具体涉及一种改进型称重传感器光刻设备，包括底座，底座上表面后侧固定有安装框，安装框内转动设置有螺杆，安装框顶端固定有伺服电机，伺服电机的动力输出轴通过轴承贯穿安装框顶部固定连接螺杆上端，螺杆上螺接贯穿有滑块，滑块滑动设置在安装框内，滑块两端固定有限位块，所安装框内壁对应限位块位置设置有限位滑槽，滑块前端固定有移动轨道，移动轨道底部设置有光刻组件，底座上表面等距离固定有三个工作台，工作台上设置有固定组件；本实用新型通过机械代替人工从而调节光刻组件的位置，节省劳动力的同时还保证了移动精度，通过固定组件能够有效将芯片板进行固定，保证了芯片加工的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改进型 称重 传感器 光刻 设备 | ||
【主权项】：
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