[实用新型]一种改进型称重传感器光刻设备

说明书

本实用新型涉及光刻设备技术领域，具体涉及一种改进型称重传感器光刻设备，包括底座，底座上表面后侧固定有安装框，安装框内转动设置有螺杆，安装框顶端固定有伺服电机，伺服电机的动力输出轴通过轴承贯穿安装框顶部固定连接螺杆上端，螺杆上螺接贯穿有滑块，滑块滑动设置在安装框内，滑块两端固定有限位块，所安装框内壁对应限位块位置设置有限位滑槽，滑块前端固定有移动轨道，移动轨道底部设置有光刻组件，底座上表面等距离固定有三个工作台，工作台上设置有固定组件；本实用新型通过机械代替人工从而调节光刻组件的位置，节省劳动力的同时还保证了移动精度，通过固定组件能够有效将芯片板进行固定，保证了芯片加工的质量。

技术领域

本实用新型涉及光刻设备技术领域，具体涉及一种改进型称重传感器光刻设备。

背景技术

光刻技术是指在光照作用下，借助光致抗蚀剂(又名光刻胶)将掩膜版上的图形转移到基片上的技术，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。称重传感器在生产过程中需要将芯片贴在弹性体上，由于芯片体积较小，因而芯片生产过程中需要进行光刻，但是，现有光刻技术中不能随意调节光刻组件与工作台的距离，而且现有的光刻设备不能在工作台上端移动，不方便工作人员的工作。

为此，公开号为CN210402010U的专利中公开了一种半导体单片集成电路的光刻设备，包括底座，底座上表面两端分别设置有收缩杆，且底座上表面设置有喷胶台，喷胶台一侧设置有软烘台，软烘台一侧设置有曝光台，收缩杆上端设置有移动杆，且收缩杆一侧设置有固定螺丝，移动杆上端连接有背墙，背墙一侧设置有移动轨道，移动轨道下端设置有光刻组件。但该设备使用时存在以下不足：一是该设备直接将待加工的芯片板放置喷胶台、软烘台和曝光台上，在进行加工过程中容易导致芯片板移动，从而对加工质量造成影响，二是该设备使用时需要通过人力进行设备的高度调节，人力进行调节需要耗费大量的劳动力，同时难以保证调节高度的准确性。

基于此，本实用新型设计了一种改进型称重传感器光刻设备，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于解决上述背景技术中提出的问题，提供了一种改进型称重传感器光刻设备。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种改进型称重传感器光刻设备，包括底座，所述底座上表面后侧固定有安装框，所述安装框内转动设置有螺杆，所述安装框顶端固定有伺服电机，所述伺服电机的动力输出轴通过轴承贯穿安装框顶部固定连接螺杆上端，所述螺杆上螺接贯穿有滑块，所述滑块滑动设置在安装框内，所述滑块两端固定有限位块，所安装框内壁对应限位块位置设置有限位滑槽，所述滑块前端固定有移动轨道，所述移动轨道底部设置有光刻组件，所述底座上表面等距离固定有三个工作台，所述工作台上设置有固定组件。

进一步地，所述光刻组件包括移动器、烘干器、光刻胶杆、激光器和热源，所述移动器下端连接有热源，所述热源两端设置有光刻胶杆，所述光刻胶杆与热源底端连接有烘干器，所述烘干器下方设置有激光器。

进一步地，所述固定组件包括两个对称设置的双向丝杠，所述工作台对应双向丝杠位置开设有安装槽，所述双向丝杠转动设置在安装槽内，两个所述双向丝杠相对应的一端螺纹相反，两个所述双向丝杠的两端均螺接有丝杠螺母，两个所述双向丝杠互相对应一端的丝杠螺母顶部之间均固定有第一夹板，两个所述第一夹板内侧壁两端均铰接有连杆，两个所述第一夹板互相对应一端的连杆均铰接有第二夹板，所述工作台前端内部开设有安装腔，两个所述双向丝杠的一端贯穿安装槽侧壁均固定有第一锥齿轮，两个所述第一锥齿轮均啮合连接有第二锥齿轮，两个所述第二锥齿轮分别固定在连接轴两端，所述连接轴通过两个对称设置的安装板转动设置在安装腔内，所述工作台前端设置有旋钮，所述旋钮的一端通过轴承贯穿工作台前端固定连接一侧第一锥齿轮。

进一步地，所述移动器与移动轨道滑动连接，且移动器与移动轨道为材质相同的构件。

进一步地，所述第一夹板和第二夹板的夹持位置均固定有耐高温耐腐蚀的橡胶垫。