[实用新型]一种改进型称重传感器光刻设备

权利要求书

1.一种改进型称重传感器光刻设备，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上表面后侧固定有安装框(2)，所述安装框(2)内转动设置有螺杆(3)，所述安装框(2)顶端固定有伺服电机(4)，所述伺服电机(4)的动力输出轴通过轴承贯穿安装框(2)顶部固定连接螺杆(3)上端，所述螺杆(3)上螺接贯穿有滑块(5)，所述滑块(5)滑动设置在安装框(2)内，所述滑块(5)两端固定有限位块(6)，所安装框(2)内壁对应限位块(6)位置设置有限位滑槽(7)，所述滑块(5)前端固定有移动轨道(8)，所述移动轨道(8)底部设置有光刻组件(9)，所述底座(1)上表面等距离固定有三个工作台(10)，所述工作台(10)上均设置有固定组件(11)。

2.根据权利要求1所述的一种改进型称重传感器光刻设备，其特征在于：所述光刻组件(9)包括移动器(91)、烘干器(92)、光刻胶杆(93)、激光器(94)和热源(95)，所述移动器(91)下端连接有热源(95)，所述热源(95)两端设置有光刻胶杆(93)，所述光刻胶杆(93)与热源(95)底端连接有烘干器(92)，所述烘干器(92)下方设置有激光器(94)。

3.根据权利要求1所述的一种改进型称重传感器光刻设备，其特征在于：所述固定组件(11)包括两个对称设置的双向丝杠(110)，所述工作台(10)对应双向丝杠(110)位置开设有安装槽(12)，所述双向丝杠(110)转动设置在安装槽(12)内，两个所述双向丝杠(110)相对应的一端螺纹相反，两个所述双向丝杠(110)的两端均螺接有丝杠螺母(111)，两个所述双向丝杠(110)互相对应一端的丝杠螺母(111)顶部之间均固定有第一夹板(112)，两个所述第一夹板(112)内侧壁两端均铰接有连杆(113)，两个所述第一夹板(112)互相对应一端的连杆(113)均铰接有第二夹板(114)，所述工作台(10)前端内部开设有安装腔(13)，两个所述双向丝杠(110)的一端贯穿安装槽(12)侧壁均固定有第一锥齿轮(115)，两个所述第一锥齿轮(115)均啮合连接有第二锥齿轮(116)，两个所述第二锥齿轮(116)分别固定在连接轴(117)两端，所述连接轴(117)通过两个对称设置的安装板(118)转动设置在安装腔(13)内，所述工作台(10)前端设置有旋钮(119)，所述旋钮(119)的一端通过轴承贯穿工作台(10)前端固定连接一侧第一锥齿轮(115)。

4.根据权利要求2所述的一种改进型称重传感器光刻设备，其特征在于：所述移动器(91)与移动轨道(8)滑动连接，且移动器(91)与移动轨道(8)为材质相同的构件。

5.根据权利要求3所述的一种改进型称重传感器光刻设备，其特征在于：所述第一夹板(112)和第二夹板(114)的夹持位置均固定有耐高温耐腐蚀的橡胶垫。