[实用新型]一种MEMS麦克风有效
| 申请号： | 202021070118.9 | 申请日： | 2020-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN211152208U | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 罗松成;李承勲;詹竣凯 | 申请（专利权）人： | 共达电声股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R19/00;H04R7/12 |
| 代理公司： | 深圳市沈合专利代理事务所(特殊普通合伙) 44373 | 代理人： | 李新梅 |
| 地址： | 261000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种MEMS麦克风，包括电容单元以及与电容单元连接的偏压单元，所述电容单元包括振膜、背板以及基板，所述振膜与背板其中之一朝向其中之另一凸出形成有凸部；所述振膜对应所述凸部的区域作为相对固定部、所述振膜与基板连接的边缘区域作为绝对固定部、所述振膜的固定部与绝对固定部之外的区域作为振动部；所述振膜的振动部与绝对固定部之间至少设有一个第一弹性件，振动部与相对固定部之间至少设有一个第二弹性件，所述第一弹性件的弹性不同于第二弹性件的弹性；所述偏压单元包括电压源，所述电压源根据振膜与背板之间的声压在振膜与背板之间选择性地输入相对较低的第一偏压或相对较高的第二偏压，通过两段式偏压实现高灵敏度高AOP。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
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