[实用新型]硅片输送设备

摘要

本实用新型涉及一种硅片输送设备，包括第一输送机构、第二输送机构、第一支撑部、第二支撑部及间距调整部；第一输送机构包括第一输送带及第一输送带支撑架，第二输送机构包括第二输送带及第二输送带支撑架；第一输送带支撑架与第二输送带支撑架间隔设置；第一支撑部上设置第一导轨，第二支撑部上设置第二导轨，第一输送带支撑架和第二输送带支撑架通过第一滑块滑动安装于第一导轨上，通过第二滑块滑动安装于第二导轨上；间距调整部通过调整两个第一滑块之间的间距，以带动调整第一输送带支撑架和第二输送带支撑架之间的间距，进而实现对第一输送带和第二输送带之间的间距调整。本实用新型可调整两条输送带之间的间距，兼容输送多种规格的硅片。