[实用新型]一种溅射镀膜水汽捕集机辅助制冷系统有效
| 申请号： | 202020991807.7 | 申请日： | 2020-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN212426163U | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 李均平;贾祥文;韩阳;黄彩连;何怀凤;邹健 | 申请（专利权）人： | 苏州锐世讯光学科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 苏州彰尚知识产权代理事务所(普通合伙) 32336 | 代理人： | 赵成磊 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市相城区黄桥*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 为了解决如何使得水蒸汽和油蒸汽在真空镀膜箱体内占比减少的问题，本实用新型提出一种溅射镀膜水汽捕集机辅助制冷系统，通过水汽捕集机和风冷式冷水机相互配合作用，使水蒸汽抽出快速凝结在制冷盘管表面，以达到快速抽真空，提高生产效率，提高镀膜质量的目的，因此，水汽捕集机与真空泵配合使用，较之单独使用真空泵会大幅提高生产效率，提高产品质量，快速吸附真空系统中的水蒸汽，油蒸汽，有效缩短抽真空时间30％～90％，提高镀膜质量，彻底解决膜层颜色不均，容易脱落现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 镀膜 水汽 捕集机 辅助 制冷系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州锐世讯光学科技有限公司，未经苏州锐世讯光学科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202020991807.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
