[实用新型]一种溅射镀膜水汽捕集机辅助制冷系统

说明书

为了解决如何使得水蒸汽和油蒸汽在真空镀膜箱体内占比减少的问题，本实用新型提出一种溅射镀膜水汽捕集机辅助制冷系统，通过水汽捕集机和风冷式冷水机相互配合作用，使水蒸汽抽出快速凝结在制冷盘管表面，以达到快速抽真空，提高生产效率，提高镀膜质量的目的，因此，水汽捕集机与真空泵配合使用，较之单独使用真空泵会大幅提高生产效率，提高产品质量，快速吸附真空系统中的水蒸汽，油蒸汽，有效缩短抽真空时间30％～90％，提高镀膜质量，彻底解决膜层颜色不均，容易脱落现象。

技术领域

本实用新型涉及溅射镀膜技术领域，较为具体的，涉及到一种溅射镀膜水汽捕集机辅助制冷系统。

背景技术

目前，真空磁控溅射镀膜机是对金属、玻璃和塑料表面进行镀膜的专用设备，其可适用于镀制耐磨损的涂层。现有技术的真空磁控溅射镀膜机，包括真空抽气系统、真空室、真空室的上料口、设置在真空室中的工件转架以及设置在真空室体上的磁控溅射装置，可利用物理气相沉积(以下简称“PVD”)技术在工件表面沉积一层几个微米薄的金属层。随着生活水平的提高，人们对于具有更加广泛用途和性能的涂层需求也越来越大。

在高真空环境中，都存在有一定的残余气体。由于水分子量比氧气，氮气等空气主要成分的分子量都小，因此，无论是油扩散泵还是分子泵，都无法迅速，有效地将其抽出，故而越积越多，水蒸汽成为占残余气体65％～95％以上的剩余气体；同时，由于真空泵在使用过程中不可避免的会产生泵油蒸发现象，会有少量油蒸汽进入真空系统，由于水蒸汽和油蒸汽的存在，导致真空系统无法迅速达到客户使用所需的真空度，导致抽真空时间变长，生产效率下降，所需真空度越高，环境湿度越大，影响越明显；同时，水蒸汽，油蒸汽的存在，会导致膜层牢固度下降，无法多层镀膜，颜色不均一等；水蒸汽在某些条件下还会电离，产生氧气，使靶材氧化，导致镀膜颜色发生变化。环境湿度越大，温度越高，所需真空度越高，影响越大。

因此，如何使得水蒸汽和油蒸汽在真空镀膜箱体内占比减少成了当下急需要解决的问题。

实用新型内容

有鉴于此，为了解决如何使得水蒸汽和油蒸汽在真空镀膜箱体内占比减少的问题，本实用新型提出一种溅射镀膜水汽捕集机辅助制冷系统，通过水汽捕集机和风冷式冷水机相互配合作用，使水蒸汽抽出快速凝结在制冷盘管表面，以达到快速抽真空，提高生产效率，提高镀膜质量的目的，因此，水汽捕集机与真空泵配合使用，较之单独使用真空泵会大幅提高生产效率，提高产品质量，快速吸附真空系统中的水蒸汽，油蒸汽，有效缩短抽真空时间30％～90％，提高镀膜质量，彻底解决膜层颜色不均，容易脱落现象。

一种溅射镀膜水汽捕集机辅助制冷系统，包括：真空镀膜箱体1、水汽捕集机3和风冷式冷水机2，其特征在于：水汽捕集机3内设有制冷组件31、工作管路34、化霜控制组件35和制冷控制组件36，制冷组件31上端设有三个端口，所述制冷组件31的第一端口连接风冷式冷水机2，所述风冷式水冷机包括：水冷交换器21、干燥过滤器22和压缩机23，所述制冷组件31的第二端口和第三端口的上端均设有输入管道32和输出管道33，输入管道32连接真空镀膜箱体1的输入口，输出管道33连接真空镀膜箱体1的输出口，所述第二端口和第三端口下端通过工作管路34连接制冷组件31，所述工作管路34包括并联的第一工作管路341和第二工作管路342，所述的第一工作管路341和第二工作管路342分别由另一端依次设置有化霜控制组件35和制冷控制组件36，且所述的化霜控制组件35和制冷控制组件36连接压缩机23。

进一步的，第一端口的上端设有进水管和回水管，通过进水管依次连接水冷交换器21、干燥过滤器22和压缩机23后送至回水管后到达到水汽捕集机3内。

进一步的，制冷组件31的第一端口通过串接的水冷交换器21和干燥过滤器22与压缩机23的高压端波纹管连接。

进一步的，输入管道32和输出管道33均为铜制管道。

进一步的，输入管道32和输出管道33均外层包裹有海绵层，对输入管道32和输出管道33起到保温和保护作用。