[实用新型]一种连续作业的真空镀膜机有效
申请号: | 202020991733.7 | 申请日: | 2020-06-03 |
公开(公告)号: | CN213266675U | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | 黄正龙 | 申请(专利权)人: | 深圳市亨利莱科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/56;C23C14/50 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种连续作业的真空镀膜机,涉及真空镀膜技术领域,包括外壳,所述外壳内部设置有真空镀膜室,且外壳两侧上部皆设置有真空仓,所述真空仓内部转动套接有锁闭环,且锁闭环一侧设置有通口,所述外壳两侧上部皆安装有贯穿真空仓并与锁闭环连接的第一电机,所述外壳靠近第一电机通过开设的滑槽贯穿有机械臂,所述机械臂延伸至真空镀膜室内部的一端底部设置有吸盘。本实用新型通过设置的蒸发装置、镀膜托盘对基片进行蒸汽镀膜,再结合设置的真空仓、机械臂在真空环境下更换基片从而实现连续作业的功能,且通过设置的电源接口供电,结合密封门及一体门锁快捷的抽出、插入蒸发装置。 | ||
搜索关键词: | 一种 连续 作业 真空镀膜 | ||
【主权项】:
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