[实用新型]一种用于离子束刻蚀机开合门的连杆铰链导向机构有效
| 申请号： | 202020980937.0 | 申请日： | 2020-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN213175232U | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 郭颂;王铖熠;程实然;刘海洋;张瑶瑶;张军;胡冬冬;许开东 | 申请（专利权）人： | 北京鲁汶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | E05D3/18 | 分类号： | E05D3/18;H01J37/32 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 曹佩佩 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于离子束刻蚀机开合门的连杆铰链导向机构，包括腔体和安装在腔体上的腔门，所述腔门的一侧通过铰链组件安装在腔体上，在铰链组件安装处设有水平导向组件；所述水平导向组件包括第三固定件、直线导轨和滑块；所述第三固定件固定安装在腔体外壁上，所述直线导轨的一端固定连接在第三固定件上，所述滑块的末端固定在腔门上，滑块在直线导轨上滑动。本实用新型公开的一种用于离子束刻蚀机开合门的连杆铰链导向机构，通过水平导向组件将腔体门平直拉离腔体至最远处后，再将腔体门翻转打开，将目前不定向的腔体门开合结构进行了运动轨迹的限定，解决了目前腔体门开合容易损坏门内零部件、对操作要求高的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 离子束 刻蚀 机开合门 连杆 铰链 导向 机构 | ||
【主权项】：
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