[实用新型]一种用于离子束刻蚀机开合门的连杆铰链导向机构有效
| 申请号： | 202020980937.0 | 申请日： | 2020-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN213175232U | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 郭颂;王铖熠;程实然;刘海洋;张瑶瑶;张军;胡冬冬;许开东 | 申请（专利权）人： | 北京鲁汶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | E05D3/18 | 分类号： | E05D3/18;H01J37/32 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 曹佩佩 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 离子束 刻蚀 机开合门 连杆 铰链 导向 机构 | ||
1.一种用于离子束刻蚀机开合门的连杆铰链导向机构，其特征在于：包括腔体和安装在腔体上的腔门，
所述腔门的一侧通过铰链组件安装在腔体上，在腔门与腔体的铰链组件安装处设有水平导向组件；
所述铰链组件包括第一连杆、第二连杆、第一转轴、第二转轴、第三转轴、第一固定件和第二固定件；
所述第一固定件和第二固定件的一端分别固定安装在腔门的外壁和腔门上，所述第一连杆的一端与第一固定件的另一端通过机械咬合连接，所述第一转轴插在第一连杆与第一固定件的机械咬合连接处；
所述第二连杆的一端与第二固定件的另一端通过机械咬合连接，所述第二转轴插在第二连杆与第二固定件的机械咬合连接处；
所述第一连杆的另一端与第二连杆的另一端通过机械咬合连接，所述第三转轴插在第一连杆与第二连杆的机械咬合连接处；
所述水平导向组件包括第三固定件、直线导轨和滑块；
所述第三固定件固定安装在腔体外壁上，所述直线导轨的一端固定连接在第三固定件上，所
述滑块的固定安装在腔门上；所述滑块在直线导轨上滑动，当滑块滑至直线导轨远离腔体的末端后，滑块脱离直线导轨。
2.根据权利要求1所述的用于离子束刻蚀机开合门的连杆铰链导向机构，其特征在于：在腔门与腔体的铰链组件安装处还设有旋转导向组件，所述旋转导向组件包括连接件、第四转轴；
所述连接件的一端固定连接在腔门上，连接件的另一端通过连接在滑块上，连接件与滑块的连接处设有第四转轴。
3.根据权利要求1所述的用于离子束刻蚀机开合门的连杆铰链导向机构，其特征在于：在腔体和腔门的连接处设有上下两组铰链组件。
4.根据权利要求1所述的用于离子束刻蚀机开合门的连杆铰链导向机构，其特征在于：所述腔门与腔体没有安装铰链组件的一侧设有卡扣，通过卡扣锁定腔门的关闭状态。
5.根据权利要求1所述的用于离子束刻蚀机开合门的连杆铰链导向机构，其特征在于：所述腔门的外壁上还设有把手。
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