[实用新型]一种用于离子束刻蚀机开合门的连杆铰链导向机构

说明书

本实用新型公开了一种用于离子束刻蚀机开合门的连杆铰链导向机构，包括腔体和安装在腔体上的腔门，所述腔门的一侧通过铰链组件安装在腔体上，在铰链组件安装处设有水平导向组件；所述水平导向组件包括第三固定件、直线导轨和滑块；所述第三固定件固定安装在腔体外壁上，所述直线导轨的一端固定连接在第三固定件上，所述滑块的末端固定在腔门上，滑块在直线导轨上滑动。本实用新型公开的一种用于离子束刻蚀机开合门的连杆铰链导向机构，通过水平导向组件将腔体门平直拉离腔体至最远处后，再将腔体门翻转打开，将目前不定向的腔体门开合结构进行了运动轨迹的限定，解决了目前腔体门开合容易损坏门内零部件、对操作要求高的问题。

技术领域

本实用新型涉及半导体生产设备领域，特别是一种用于离子束刻蚀机开合门的连杆铰链导向机构。

背景技术

离子束刻蚀是利用低能量平行Ar+离子束对基片表面进行轰击，将基片表面未覆盖掩膜的部分溅射出，从而达到选择刻蚀的目的。离子束刻蚀是纯物理刻蚀过程，在各种常规刻蚀方法中具有分辨率最高、陡直性最好的特点，并且可以对绝大部分材料进行刻蚀，例如：金属、合金、氧化物、化合物、混合材料、半导体、绝缘体、超导体等材料。

常规离子束刻蚀机采用圆形离子源，但随着刻蚀基片尺寸的增大，圆形离子源部件的加工难度显著增大，大尺寸栅网也变形严重，造成束流均匀性呈下降趋势，圆形离子源不适应大尺寸基片的刻蚀。

常规离子束刻蚀机采一般都会有一个腔体和一个铰链连接的腔门，而在门内的表面上均会设置一些重要零部件，这些零部件均是需要维护的，这就要求在关闭腔门时，必须操作准确，在准确关闭腔门时，还要求力度合适，不得使腔门撞击在腔门上，防止门内的零部件受到撞击导致损害，因此，设计一种准确关闭腔门且操作准确、力度适中的开关门结构是本领域人员急需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，而提供一种用于离子束刻蚀机开合门的连杆铰链导向机构，该离子束刻蚀机开合门的连杆铰链导向机构在保证准确关闭离子束刻蚀机的腔门的同时，不会造成腔门内壁上的零部件损坏。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：

一种用于离子束刻蚀机开合门的连杆铰链导向机构，包括腔体和安装在腔体上的腔门，

所述腔门的一侧通过铰链组件安装在腔体上，在腔门与腔体的铰链组件安装处设有水平导向组件；所述铰链组件包括第一连杆、第二连杆、第一转轴、第二转轴、第三转轴、第一固定件和第二固定件；所述第一固定件和第二固定件的一端分别固定安装在腔门的外壁和腔门上，所述第一连杆的一端与第一固定件的另一端通过机械咬合连接，所述第一转轴插在第一连杆与第一固定件的机械咬合连接处；所述第二连杆的一端与第二固定件的另一端通过机械咬合连接，所述第二转轴插在第二连杆与第二固定件的机械咬合连接处；所述第一连杆的另一端与第二连杆的另一端通过机械咬合连接，所述第三转轴插在第一连杆与第二连杆的机械咬合连接处；所述水平导向组件包括第三固定件、直线导轨和滑块；所述第三固定件固定安装在腔体外壁上，所述直线导轨的一端固定连接在第三固定件上，所述滑块的固定安装在腔门上；所述滑块在直线导轨上滑动，当滑块滑至直线导轨远离腔体的末端后，滑块脱离直线导轨。

进一步的，在腔门与腔体的铰链组件安装处还设有旋转导向组件，所述旋转导向组件包括连接件、第四转轴；所述连接件的一端固定连接在腔门上，连接件的另一端通过连接在滑块上，连接件与滑块的连接处设有第四转轴。

进一步的，在腔体和腔门的连接处设有上下两组铰链组件。

进一步的，所述腔门与腔体没有安装铰链组件的一侧设有卡扣组件，通过卡扣组件锁定腔门的关闭状态。

进一步的，所述腔门的外壁上还设有把手。

本实用新型具有如下有益效果：