[实用新型]可便捷拆装清理式单晶炉有效
| 申请号： | 202020949520.8 | 申请日： | 2020-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN212426239U | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 马玉怀;陈元寿 | 申请（专利权）人： | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06;C30B31/00 |
| 代理公司： | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人： | 张淼;孙彦虎 |
| 地址： | 750021 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 一种可便捷拆装清理式单晶炉，包括炉体、排气装置，排气装置包括第一排气管、四通管、卡箍组件、盲板、真空阀、第二排气管、真空泵，第一排气管的入口端与炉体的内腔连通，第一排气管的出口端与四通管的左端口密封连接，四通管的右端口通过卡箍组件与盲板密封连接，四通管的上端口通过卡箍组件与盲板密封连接，四通管的下端口与真空阀的入口端密封连接，真空阀的出口端与第二排气管的入口端密封连接，第二排气管出口端与真空泵的入口密封连接，改用四通管作为连接管，管道内残留聚集的氧化物可以很轻松的、彻底的清理干净，四通管的右端口、上端口均通过卡箍组件盲板密封连接，安装和拆卸方便，有效的提高了清理效率。 | ||
| 搜索关键词： | 便捷 拆装 清理 式单晶炉 | ||
【主权项】：
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