[实用新型]可便捷拆装清理式单晶炉

权利要求书

1.一种可便捷拆装清理式单晶炉，其特征在于：包括炉体、排气装置，所述排气装置包括第一排气管、四通管、卡箍组件、盲板、真空阀、第二排气管、真空泵，所述第一排气管的入口端与炉体的内腔连通，所述第一排气管的出口端与四通管的左端口密封连接，所述四通管的右端口通过卡箍组件与盲板密封连接，所述四通管的上端口通过卡箍组件与盲板密封连接，所述四通管的下端口与真空阀的入口端密封连接，所述真空阀的出口端与第二排气管的入口端密封连接，所述第二排气管出口端与真空泵的入口密封连接。

2.如权利要求1所述的可便捷拆装清理式单晶炉，其特征在于：所述可便捷拆装清理式单晶炉还包括热屏，所述热屏包括内筒、外筒、筒底，所述内筒套装于外筒内，所述筒底为环形，所述筒底设于内筒、外筒的下端，所述内筒包括第一筒体、第二筒体、第三筒体、第四筒体，所述第一筒体、第二筒体、第三筒体、第四筒体均为上下开口，所述第一筒体为锥形，所述第一筒体的上端的直径大于所述第一筒体的下端的直径，所述第三筒体为锥形，所述第三筒体的上端的直径大于所述第三筒体的下端的直径，所述第二筒体、第四筒体均为柱形，所述第二筒体的直径等于第一筒体的下端的直径，所述第二筒体的直径等于第三筒体的上端的直径，所述第四筒体的直径等于第三筒体的下端的直径，所述第四筒体的内径等于筒底的内径，所述第一筒体的上端的外壁与外筒的上端的内壁连接，所述第二筒体的上端与所述第一筒体的下端连接，所述第二筒体的下端与所述第三筒体的上端连接，所述第三筒体的下端与第四筒体的上端连接，所述第四筒体与筒底同轴设置，所述第四筒体的下端与筒底的上表面连接，所述筒底的外壁与外筒的下端的内壁连接，在内筒、外筒、筒底包围的空腔中填充有保温毡。

3.如权利要求2所述的可便捷拆装清理式单晶炉，其特征在于：所述第一筒体的锥度值为2tan17°。

4.如权利要求2所述的可便捷拆装清理式单晶炉，其特征在于：所述第三筒体的锥度值为2tan45°。

5.如权利要求2所述的可便捷拆装清理式单晶炉，其特征在于：所述筒底包括第一环体、第二环体，所述第一环体为柱形，所述第二环体为锥形，所述第一环体的外径等于第二环体的下端的直径，所述第四筒体的下端与第一环体的上表面连接，所述第一环体的外壁与第二环体的下端连接，所述第二环体的上端的外壁与外筒的下端的内壁连接。

6.如权利要求2所述的可便捷拆装清理式单晶炉，其特征在于：所述内筒为石英材质。

7.如权利要求2所述的可便捷拆装清理式单晶炉，其特征在于：所述筒底、外筒、保温毡为石墨材质。

8.如权利要求2所述的可便捷拆装清理式单晶炉，其特征在于：所述热屏还包括支撑筒，所述支撑筒的内壁与外筒的上端的外壁连接。

9.如权利要求8所述的可便捷拆装清理式单晶炉，其特征在于：所述可便捷拆装清理式单晶炉还包括隔离阀，所述炉体上端开口，所述隔离阀的下端与炉体的上端连接，所述炉体包括壳体、保温筒、盖板，所述保温筒上端开口，所述保温筒嵌套于壳体内，在保温筒的上端安装有盖板，所述盖板的中部设有安装孔，所述安装孔内径大于外筒的外径，所述安装孔内径小于支撑筒的外径，所述支撑筒的下表面与盖板上表面连接。

10.如权利要求9所述的可便捷拆装清理式单晶炉，其特征在于：所述炉体还包括支撑轴、托盘、坩埚、底加热器、侧加热器，保温毡底部设有支撑轴，支撑轴上托举托盘，在托盘上放置有坩埚，保温毡底壁与托盘之间安装有底加热器，保温毡侧壁与坩埚之间安装有侧加热器。