[实用新型]可便捷拆装清理式单晶炉

说明书

一种可便捷拆装清理式单晶炉，包括炉体、排气装置，排气装置包括第一排气管、四通管、卡箍组件、盲板、真空阀、第二排气管、真空泵，第一排气管的入口端与炉体的内腔连通，第一排气管的出口端与四通管的左端口密封连接，四通管的右端口通过卡箍组件与盲板密封连接，四通管的上端口通过卡箍组件与盲板密封连接，四通管的下端口与真空阀的入口端密封连接，真空阀的出口端与第二排气管的入口端密封连接，第二排气管出口端与真空泵的入口密封连接，改用四通管作为连接管，管道内残留聚集的氧化物可以很轻松的、彻底的清理干净，四通管的右端口、上端口均通过卡箍组件盲板密封连接，安装和拆卸方便，有效的提高了清理效率。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅加工设备技术领域，特别涉及一种可便捷拆装清理式单晶炉。

背景技术

目前使用的汉虹单晶炉下部使用Φ80弯管连接高真空隔离球阀。在半导体行业使用重掺杂拉制晶棒的过程中，氧化物比较多，设备长时间运行，会导致高真空隔离球阀关闭不严，管道中聚集了大量的氧化物，并粘附在管道内壁上，使生产拉制过程中排气不畅，并产生涡流，最终影响拉制的晶棒的性能。每次清理管道和高真空隔离球阀时，要拆卸弯管两端四个螺丝，由于安装位置狭小，拆卸不方便，随后安装时，稍有安装不当，就会造成漏气，造成清理不便。

发明内容

有鉴于此，针对上述不足，有必要提出一种可便捷拆装清理式单晶炉。

一种可便捷拆装清理式单晶炉，包括炉体、排气装置，所述排气装置包括第一排气管、四通管、卡箍组件、盲板、真空阀、第二排气管、真空泵，所述第一排气管的入口端与炉体的内腔连通，所述第一排气管的出口端与四通管的左端口密封连接，所述四通管的右端口通过卡箍组件与盲板密封连接，所述四通管的上端口通过卡箍组件与盲板密封连接，所述四通管的下端口与真空阀的入口端密封连接，所述真空阀的出口端与第二排气管的入口端密封连接，所述第二排气管出口端与真空泵的入口密封连接。

优选的，所述可便捷拆装清理式单晶炉还包括热屏，所述热屏包括内筒、外筒、筒底，所述内筒套装于外筒内，所述筒底为环形，所述筒底设于内筒、外筒的下端，所述内筒包括第一筒体、第二筒体、第三筒体、第四筒体，所述第一筒体、第二筒体、第三筒体、第四筒体均为上下开口，所述第一筒体为锥形，所述第一筒体的上端的直径大于所述第一筒体的下端的直径，所述第三筒体为锥形，所述第三筒体的上端的直径大于所述第三筒体的下端的直径，所述第二筒体、第四筒体均为柱形，所述第二筒体的直径等于第一筒体的下端的直径，所述第二筒体的直径等于第三筒体的上端的直径，所述第四筒体的直径等于第三筒体的下端的直径，所述第四筒体的内径等于筒底的内径，所述第一筒体的上端的外壁与外筒的上端的内壁连接，所述第二筒体的上端与所述第一筒体的下端连接，所述第二筒体的下端与所述第三筒体的上端连接，所述第三筒体的下端与第四筒体的上端连接，所述第四筒体与筒底同轴设置，所述第四筒体的下端与筒底的上表面连接，所述筒底的外壁与外筒的下端的内壁连接，在内筒、外筒、筒底包围的空腔中填充有保温毡。

优选的，所述第一筒体的锥度值为2tan17°。

优选的，所述第三筒体的锥度值为2tan45°。

优选的，所述筒底包括第一环体、第二环体，所述第一环体为柱形，所述第二环体为锥形，所述第一环体的外径等于第二环体的下端的直径，所述第四筒体的下端与第一环体的上表面连接，所述第一环体的外壁与第二环体的下端连接，所述第二环体的上端的外壁与外筒的下端的内壁连接。

优选的，所述内筒为石英材质。

优选的，所述筒底、外筒、保温毡为石墨材质。

优选的，所述热屏还包括支撑筒，所述支撑筒的内壁与外筒的上端的外壁连接。