[实用新型]金属镀膜装置有效
| 申请号： | 202020928837.3 | 申请日： | 2020-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN212533102U | 公开（公告）日： | 2021-02-12 |
| 发明（设计）人： | 刘东 | 申请（专利权）人： | 杭州西风半导体有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/04;C23C14/50 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 阎忠华 |
| 地址： | 311100 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种金属镀膜装置，包括电子束真空镀膜机，呈球面形的镀膜锅，设于镀膜锅上的M个镀膜窗口，设于每个镀膜窗口上的芯片掩膜挡片环，设于芯片掩膜挡片环上的芯片掩膜挡片，设于芯片掩膜挡片外侧的芯片掩膜挡片环上的芯片盖板，设于电子束真空镀膜机内的坩埚和电子枪。本实用新型具有缩短了金属镀膜工艺周期，减少了人力和生产处理辅材成本的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州西风半导体有限公司，未经杭州西风半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202020928837.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：带多功能支架的拉杆结构以及多功能行李箱
- 下一篇：一种特殊双向开缝爆破片
- 同类专利
- 专利分类
