[实用新型]一种晶圆加工用切削液分级优化设备

摘要

本实用新型涉及过滤装置技术领域，且公开了一种晶圆加工用切削液分级优化设备，包括过滤箱本体，所述过滤箱本体上表面固定连接有进料斗，所述过滤箱本体右侧外表面顶部活动连接有过滤外壳一，所述过滤外壳一内部的放置槽内活动连接有过滤内壳，所述过滤内壳的前侧下端设置有筛动装置，所述过滤外壳一前侧表面设置有抽拉装置，所述过滤箱本体右侧外表面活动连接有过滤外壳二。该一种晶圆加工用切削液分级优化设备使用时，操作人员将带有晶圆碎片的切削液废液倒入进料斗内，可以将不同大小的晶圆碎片都可以收集起来有效地避免了资源的浪费，这样可以二次对切削液的使用，避免了丢弃废液对环境造成污染。