[实用新型]一种晶圆加工用切削液分级优化设备

说明书

本实用新型涉及过滤装置技术领域，且公开了一种晶圆加工用切削液分级优化设备，包括过滤箱本体，所述过滤箱本体上表面固定连接有进料斗，所述过滤箱本体右侧外表面顶部活动连接有过滤外壳一，所述过滤外壳一内部的放置槽内活动连接有过滤内壳，所述过滤内壳的前侧下端设置有筛动装置，所述过滤外壳一前侧表面设置有抽拉装置，所述过滤箱本体右侧外表面活动连接有过滤外壳二。该一种晶圆加工用切削液分级优化设备使用时，操作人员将带有晶圆碎片的切削液废液倒入进料斗内，可以将不同大小的晶圆碎片都可以收集起来有效地避免了资源的浪费，这样可以二次对切削液的使用，避免了丢弃废液对环境造成污染。

技术领域

本实用新型涉及过滤装置技术领域，具体为一种晶圆加工用切削液分级优化设备。

背景技术

晶圆指制造半导体晶体管或集成电路的衬底(也叫基片),由于是晶体材料，其形状为圆形，所以称为晶圆,在晶圆上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品，目前常用的晶圆加工方式中都需要用到切削液，但是目前的大多数的晶圆加工的数控机床都是一些简单的切削液过滤装置，不能很好的将切削液中的晶圆碎片收集起来，很容易造成资源的浪费，同时切削废液对环境也具有很好的危害。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆加工用切削液分级优化设备，具备分级过滤切削液中的残渣等优点，解决了过滤不完全的问题。

(二)技术方案

为实现上述分级过滤切削液中的残渣目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆加工用切削液分级优化设备，包括过滤箱本体，所述过滤箱本体上表面固定连接有进料斗，所述过滤箱本体右侧外表面底部固定连接有出料斗，所述过滤箱本体右侧外表面顶部活动连接有过滤外壳一，所述过滤外壳一内部的放置槽内活动连接有过滤内壳，所述过滤内壳内部下表面固定连接有过滤网，所述过滤内壳的前侧下端设置有筛动装置，所述过滤外壳一右侧内壁顶部固定连接有气压顶杆，所述过滤外壳一前侧表面设置有抽拉装置，所述过滤箱本体右侧外表面活动连接有过滤外壳二。

优选的，所述过滤外壳一内部中心开设有放置槽且贯穿其上下两侧表面。

优选的，所述筛动装置的数量为两个且两个筛动装置分别活动连接在过滤内壳的前后两侧，所述筛动装置包括有电机且电机固定连接在过滤外壳一前侧表面内壁底部，所述电机后侧表面固定连接有连接轴且连接轴后端贯穿出过滤外壳一内部前壁，所述连接轴后端固定连接有齿轮，所述齿轮上啮合连接有齿轮槽且齿轮槽固定连接在过滤内壳前侧外表面下端中心处。

优选的，所述齿轮外圈轮齿的安装数只安装了三分之一的轮齿外圈，所述齿轮槽的内部上表面以及内部下表面分别固定连接有轮齿。

优选的，所述抽拉装置的数量为两个且两个抽拉装置分别固定连接在过滤外壳一前后两侧表面中心处，所述抽拉装置包括有滑动连杆且滑动连杆后侧表面固定连接在过滤外壳一前侧表面中心处，所述滑动连杆前侧表面左端固定连接有卡块，所述滑动连杆前侧滑动连接有滑动导轨且滑动导轨前侧表面固定连接在过滤箱本体内部前壁上，所述滑动导轨内部开设有卡槽且卡槽活动套接在卡块上。

优选的，所述气压顶杆左侧固定连接有液压伸缩杆且液压伸缩杆左端贯穿出过滤外壳一右壁且其左端固定连接在过滤内壳右侧外表面上。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种一种晶圆加工用切削液分级优化设备，具备以下有益效果：