[实用新型]一种晶圆加工用切削液分级优化设备

权利要求书

1.一种晶圆加工用切削液分级优化设备，包括过滤箱本体(1)，所述过滤箱本体(1)上表面固定连接有进料斗(2)，所述过滤箱本体(1)右侧外表面底部固定连接有出料斗(3)，其特征在于：所述过滤箱本体(1)右侧外表面顶部活动连接有过滤外壳一(4)，所述过滤外壳一(4)内部的放置槽内活动连接有过滤内壳(6)，所述过滤内壳(6)内部下表面固定连接有过滤网(7)，所述过滤内壳(6)的前侧下端设置有筛动装置，所述过滤外壳一(4)右侧内壁顶部固定连接有气压顶杆(16)，所述过滤外壳一(4)前侧表面设置有抽拉装置，所述过滤箱本体(1)右侧外表面活动连接有过滤外壳二(5)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用切削液分级优化设备，其特征在于：所述过滤外壳一(4)内部中心开设有放置槽且贯穿其上下两侧表面。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用切削液分级优化设备，其特征在于：所述筛动装置的数量为两个且两个筛动装置分别活动连接在过滤内壳(6)的前后两侧，所述筛动装置包括有电机(10)且电机(10)固定连接在过滤外壳一(4)前侧表面内壁底部，所述电机(10)后侧表面固定连接有连接轴(11)且连接轴(11)后端贯穿出过滤外壳一(4)内部前壁，所述连接轴(11)后端固定连接有齿轮(12)，所述齿轮(12)上啮合连接有齿轮槽(13)且齿轮槽(13)固定连接在过滤内壳(6)前侧外表面下端中心处。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆加工用切削液分级优化设备，其特征在于：所述齿轮(12)外圈轮齿的安装数只安装了三分之一的轮齿外圈，所述齿轮槽(13)的内部上表面以及内部下表面分别固定连接有轮齿。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用切削液分级优化设备，其特征在于：所述抽拉装置的数量为两个且两个抽拉装置分别固定连接在过滤外壳一(4)前后两侧表面中心处，所述抽拉装置包括有滑动连杆(8)且滑动连杆(8)后侧表面固定连接在过滤外壳一(4)前侧表面中心处，所述滑动连杆(8)前侧表面左端固定连接有卡块(15)，所述滑动连杆(8)前侧滑动连接有滑动导轨(9)且滑动导轨(9)前侧表面固定连接在过滤箱本体(1)内部前壁上，所述滑动导轨(9)内部开设有卡槽(14)且卡槽(14)活动套接在卡块(15)上。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用切削液分级优化设备，其特征在于：所述气压顶杆(16)左侧固定连接有液压伸缩杆且液压伸缩杆左端贯穿出过滤外壳一(4)右壁且其左端固定连接在过滤内壳(6)右侧外表面上。