[实用新型]一种抛光机所用的新型抛光头及其治具有效
| 申请号： | 202020807518.7 | 申请日： | 2020-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN212683566U | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 张晋英;安爱博;张碧波;严政先;赵欣;郭旭;霍立强;孙晨光;王彦君 | 申请（专利权）人： | 中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/04 | 分类号： | B24B41/04;B24B29/00;B25B11/02 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 薛萌萌 |
| 地址： | 214200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种抛光机所用的新型抛光头及其治具，抛光头包括抛光头本体，所述抛光头本体底部装有压力分配环，所述抛光头侧壁上安装有拆卸压力分配环的拆卸件。治具包括治具本体，所述治具本体用于安装压力分配环的治具。本实用新型所述的抛光头本体侧面安装有拆卸压力分配环的四氟螺纹顶杆，四氟螺纹顶杆与抛光头本体螺纹连接，通过旋转四氟螺纹顶杆将压力分配环进行拆卸，实现了压力分配环的快速拆卸；通过治具实现了压力分配环的快速安装。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光机 所用 新型 抛光 及其 | ||
【主权项】：
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