[实用新型]在线式石英舟装卸片机

摘要

本实用新型公开了在线式石英舟装卸片机，包括机架、左人工放置位、右人工放置位、工作位、花篮工作平台、花篮插片机构、花篮硅片校正机构、插片机构、石英舟传送机构、石英舟插片机构、石英舟硅片校正机构、石英舟搬运机构和石英舟缓存机构，所述花篮工作平台包括手拉滑块式机构，所述手拉滑块式机构上设置有横移模组和限位机构；所述花篮插片机构包括升降模组，所述升降模组上设置有导轨滑块机构，所述导轨滑块机构上设置有多道插机构a。本实用新型中，该在线式石英舟装卸片机能大大提高硅片进行装入、卸出石英舟的速度与效率，且自动切换石英舟的进入和输出主设备，从而节省人力，提高准确率，显著降低碎片率，提高经济效益。