[实用新型]一种快速升降温设备单点测温装置有效
申请号: | 202020676214.1 | 申请日: | 2020-04-28 |
公开(公告)号: | CN211740433U | 公开(公告)日: | 2020-10-23 |
发明(设计)人: | 杨志勇;景豪杰;刘芳亮;单庆喜 | 申请(专利权)人: | 扬州思普尔科技有限公司 |
主分类号: | G01K7/02 | 分类号: | G01K7/02;G01K1/14 |
代理公司: | 南京常青藤知识产权代理有限公司 32286 | 代理人: | 黄胡生 |
地址: | 225000 江苏省扬州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供一种快速升降温设备单点测温装置,具体涉及测温装置领域,包括硅片,所述硅片上设有凹槽,所述凹槽横截面呈凸型结构,所述凹槽底部设有测温热偶探头,所述测温热偶探头上设有测温热偶线,所述凹槽内填充有高温胶,将所述测温热偶探头和测温热偶线固定在所述凹槽内,且所述高温胶填充高度凸出于所述凹槽上端。本实用新型可解决测温装置的测温热偶与硅片接触牢靠,不易脱落,延长使用寿命,节约成本等问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 快速 升降 设备 单点 测温 装置 | ||
【主权项】:
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