[实用新型]一种快速升降温设备单点测温装置

说明书

本实用新型提供一种快速升降温设备单点测温装置，具体涉及测温装置领域，包括硅片，所述硅片上设有凹槽，所述凹槽横截面呈凸型结构，所述凹槽底部设有测温热偶探头，所述测温热偶探头上设有测温热偶线，所述凹槽内填充有高温胶，将所述测温热偶探头和测温热偶线固定在所述凹槽内，且所述高温胶填充高度凸出于所述凹槽上端。本实用新型可解决测温装置的测温热偶与硅片接触牢靠，不易脱落，延长使用寿命，节约成本等问题。

技术领域

本实用新型属于测温装置领域，具体涉及一种快速升降温设备单点测温装置。

背景技术

现有的快速退火测温装置主要是在硅片表面通过激光打一个350um的凹槽，凹槽直径1.5mm左右，然后通过高温胶把K型货其它型号的热偶固定在凹槽内。因为高温胶和硅片接触点比较小，在高温下使用2-3次，胶和硅片就会脱落，导致测温装置报废；

针对上述不足，现需要一种快速升降温设备单点测温装置，可解决测温装置的测温热偶与硅片接触牢靠，不易脱落，延长使用寿命，节约成本等问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种快速升降温设备单点测温装置，可解决测温装置的测温热偶与硅片接触牢靠，不易脱落，延长使用寿命，节约成本等问题。

本实用新型提供了如下的技术方案：

一种快速升降温设备单点测温装置，包括硅片，所述硅片上设有凹槽，所述凹槽横截面呈凸型结构，所述凹槽底部设有测温热偶探头，所述测温热偶探头上设有测温热偶线，所述凹槽内填充有高温胶，将所述测温热偶探头和测温热偶线固定在所述凹槽内，且所述高温胶填充高度凸出于所述凹槽上端。

优选的，所述凹槽上部直径1.5mm,凹槽底部直径3mm；所述测温热偶线直径为0.3毫米；相对于传统结构，本结构固定的接触面积增加了4倍左右，形状如图1所示。这样接触面积大，接触更加可靠，此测温装置主要用于快速退火炉腔体温度校准，对测温精度要求比较高，因为是快速退火，升温和降温速度非常快，升温速度最高达到120度/秒，降温速度最高到达80度/秒。温度骤冷骤热，所以对测温热偶与硅片的接触要求比较高，原先的接触点是口大底小，接触面积只有改进后的1/4，经过高温骤冷骤热后，很容易脱落。使用次数也就2-3次。改进后，使用次数明显增加，使用次数能达到30次左右，这样大大节约了成本；

优选的，所述高温胶采用高温水泥胶；高温水泥胶不仅固定牢靠，且易于成型；

优选的，所述凹槽内设有至少两个支撑骨架，所述支撑骨架沿圆周方向均匀排列在所述凹槽内，通过支撑骨架可提高凹槽强度，利于提高装置寿命

优选的，所述支撑骨架与所述凹槽形状贴合，即所述支撑骨架下部呈侧开口状，且侧开口结构上端向上延伸，该结构可更好贴合凹槽，可进一步提高凹槽强度，利于提高装置寿命

优选的，所述支撑骨架的侧面设有若干凸起；通过凸起可提高固定的接触面积，可进一步提高凹槽强度，利于提高装置寿命

优选的，所述支撑骨架由高强度材质一体成型而成，一体成型结构强度高，寿命长；

优选的，所述高强度材质为钢或铝合金，上述金属强度高，可确保使用寿命；

本实用新型的有益效果：

本实用新型相对于传统结构，本结构固定的接触面积增加了4倍左右，形状如图1所示。这样接触面积大，接触更加可靠，此测温装置主要用于快速退火炉腔体温度校准，对测温精度要求比较高，因为是快速退火，升温和降温速度非常快，升温速度最高达到120度/秒，降温速度最高到达80度/秒。温度骤冷骤热，所以对测温热偶与硅片的接触要求比较高，原先的接触点是口大底小，接触面积只有改进后的1/4，经过高温骤冷骤热后，很容易脱落。使用次数也就2-3次。改进后，使用次数明显增加，使用次数能达到30次左右，这样大大节约了成本。

附图说明