[实用新型]一种快速升降温设备单点测温装置有效

专利信息
申请号: 202020676214.1 申请日: 2020-04-28
公开(公告)号: CN211740433U 公开(公告)日: 2020-10-23
发明(设计)人: 杨志勇;景豪杰;刘芳亮;单庆喜 申请(专利权)人: 扬州思普尔科技有限公司
主分类号: G01K7/02 分类号: G01K7/02;G01K1/14
代理公司: 南京常青藤知识产权代理有限公司 32286 代理人: 黄胡生
地址: 225000 江苏省扬州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 快速 升降 设备 单点 测温 装置
【权利要求书】:

1.一种快速升降温设备单点测温装置,其特征在于:包括硅片,所述硅片上设有凹槽,所述凹槽横截面呈凸型结构,所述凹槽底部设有测温热偶探头,所述测温热偶探头上设有测温热偶线,所述凹槽内填充有高温胶,将所述测温热偶探头和测温热偶线固定在所述凹槽内,且所述高温胶填充高度凸出于所述凹槽上端。

2.根据权利要求1所述的一种快速升降温设备单点测温装置,其特征在于:所述凹槽上部直径1.5mm,凹槽底部直径3mm;所述测温热偶线直径为0.3毫米。

3.根据权利要求1所述的一种快速升降温设备单点测温装置,其特征在于:所述高温胶采用高温水泥胶。

4.根据权利要求1所述的一种快速升降温设备单点测温装置,其特征在于:所述凹槽内设有至少两个支撑骨架,所述支撑骨架沿圆周方向均匀排列在所述凹槽内。

5.根据权利要求4所述的一种快速升降温设备单点测温装置,其特征在于:所述支撑骨架与所述凹槽形状贴合,即所述支撑骨架下部呈侧开口状,且侧开口结构上端向上延伸。

6.根据权利要求5所述的一种快速升降温设备单点测温装置,其特征在于:所述支撑骨架的侧面设有若干凸起。

7.根据权利要求6所述的一种快速升降温设备单点测温装置,其特征在于:所述支撑骨架由高强度材质一体成型而成。

8.根据权利要求7所述的一种快速升降温设备单点测温装置,其特征在于:所述高强度材质为钢或铝合金。

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