[实用新型]一种晶圆分断的自动检测装置有效
| 申请号： | 202020629860.2 | 申请日： | 2020-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN212410468U | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 姜泽芳;梅雪军 | 申请（专利权）人： | 海太半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01C11/04 |
| 代理公司： | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人： | 赵华 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种晶圆分断的自动检测装置，包括机架、摄像机和LED光源，机架设置在靠近晶圆分割机出料口的一侧，机架上设置有遮光摄影棚，遮光摄影棚内安装有摄像机，位于摄像机的摄像头正下方设置有置物托盘，机架位于置物托盘下方安装有LED光源；机架上还安装有报警装置和显示器，报警装置、显示器和摄像机均信号连接至机架内的主控模块，主控模块内设置有图像识别控制系统。本实用新型通过对设备报警检测和报警功能的增加，实现了分断异常的全面检出功能，避免了因极少量不良制品未经检测而流到后道工序的风险；解决了因未分断异常和碎片异常导致的低收率问题，避免了异常连续大批量发生的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆分断 自动检测 装置 | ||
【主权项】：
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