[实用新型]一种晶圆分断的自动检测装置

说明书

本实用新型提供一种晶圆分断的自动检测装置，包括机架、摄像机和LED光源，机架设置在靠近晶圆分割机出料口的一侧，机架上设置有遮光摄影棚，遮光摄影棚内安装有摄像机，位于摄像机的摄像头正下方设置有置物托盘，机架位于置物托盘下方安装有LED光源；机架上还安装有报警装置和显示器，报警装置、显示器和摄像机均信号连接至机架内的主控模块，主控模块内设置有图像识别控制系统。本实用新型通过对设备报警检测和报警功能的增加，实现了分断异常的全面检出功能，避免了因极少量不良制品未经检测而流到后道工序的风险；解决了因未分断异常和碎片异常导致的低收率问题，避免了异常连续大批量发生的风险。

技术领域

本实用新型主要涉及晶元检测领域，尤其涉及一种晶圆分断的自动检测装置。

背景技术

在现有的晶圆分割机只能进行简单的分断操作，无法对资材的品质进行确认；所有检测需要人工进行目检抽查：检查效率低，检出率低；不良资材常会流到后续工程，如后续工程不能及时发现，会导致最终成品收率过低，批量降级处理，导致收益降低；

另外：如人员发生不良漏检，还会导致不能及时发现并消除不良产生原因，可能会导致大批量不良持续产生。

已公开中国实用新型专利，申请号CN201320717902.8，专利名称：晶边缺陷检测装置，申请日：2013-11-14，本实用新型涉及一种晶边缺陷检测装置，包括工艺腔、晶圆升降机构、圆形轨道、探测单元以及用于对准晶圆的凹口的起始阻隔器，所述工艺腔分成上腔室和下腔室，所述轨道设置于所述上腔室中，所述晶圆升降机构设置于所述工艺腔内并能够将晶圆从下腔室抬升到上腔室的所述轨道的中心位置，并且使得所述晶圆和轨道在同一平面内，起始阻隔器设置于轨道的内侧，所述探测单元能够沿着所述轨道从所述起始阻隔器的一侧绕到另一侧以实现对晶边的扫描检测，其可以控制探测单元扫描不到晶圆的凹口，因此，无需操作人员判断是晶边破口还是正常的晶圆的凹口，不但使得检测简单，易实现，而且能准确反映晶边缺陷状况，更好的帮助分析缺陷的根本的原因，提高效率。

实用新型内容

针对现有技术的上述缺陷，本实用新型提供一种晶圆分断的自动检测装置，包括机架1、摄像机2和LED光源3，所述机架1设置在靠近晶圆分割机出料口的一侧，所述机架1上设置有遮光摄影棚4，所述遮光摄影棚4内安装有摄像机2，位于所述摄像机2的摄像头正下方设置有置物托盘5，所述机架1位于置物托盘5下方安装有LED光源3；

所述机架1上还安装有报警装置6和显示器7，所述报警装置6、显示器7和摄像机2均信号连接至机架内的主控模块，所述主控模块内设置有图像识别控制系统；

图像识别控制系统接收来自摄像机2扫描出的图形，并与标准图形对比辨别后与报警装置6信号端口进行信号交换；

所述机架1与晶圆分割机出料端之间设置有传送装置。

优选的，机架1上表面靠近置物托盘5的一侧设置有定位槽9，所述定位槽与置物托盘5的底座对应。

优选的，置物托盘5上表面设置有定位柱8。

优选的，遮光摄影棚4呈一开口状方框。

优选的，机架1靠近遮光摄影棚4开口的一侧设置有暂存框，所述暂存框包括待检测区10、合格区11和不合格区12。

优选的，传送装置采用机械手或传送带。

优选的，机架1底部四周均设置有垫脚13。

本实用新型的有益效果：

1、通过对设备报警检测和报警功能的增加，实现了分断异常的全面检出功能，成功避免了因极少量不良制品未经检测而流到后道工序的风险；

2、解决了因未分断异常和碎片异常导致的低收率问题，使产品质量更加可靠；