[实用新型]一种晶圆分断的自动检测装置有效
| 申请号： | 202020629860.2 | 申请日： | 2020-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN212410468U | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 姜泽芳;梅雪军 | 申请（专利权）人： | 海太半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01C11/04 |
| 代理公司： | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人： | 赵华 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆分断 自动检测 装置 | ||
1.一种晶圆分断的自动检测装置，其特征在于，包括机架(1)、摄像机(2)和LED光源(3)，所述机架(1)设置在靠近晶圆分割机出料口的一侧，所述机架(1)上设置有遮光摄影棚(4)，所述遮光摄影棚(4)内安装有摄像机(2)，位于所述摄像机(2)的摄像头正下方设置有置物托盘(5)，所述机架(1)位于置物托盘(5)下方安装有LED光源(3)；
所述机架(1)上还安装有报警装置(6)和显示器(7)，所述报警装置(6)、显示器(7)和摄像机(2)均信号连接至机架内的主控模块，所述主控模块内设置有图像识别控制系统；
图像识别控制系统接收来自摄像机(2)扫描出的图形，并与标准图形对比辨别后与报警装置(6)信号端口进行信号交换；
所述机架(1)与晶圆分割机出料端之间设置有传送装置。
2.根据权利要求1所述的晶圆分断的自动检测装置，其特征在于：所述机架(1)上表面靠近置物托盘(5)的一侧设置有定位槽(9)，所述定位槽与置物托盘(5)的底座对应。
3.根据权利要求2所述的晶圆分断的自动检测装置，其特征在于：所述置物托盘(5)上表面设置有定位柱(8)。
4.根据权利要求3所述的晶圆分断的自动检测装置，其特征在于：所述遮光摄影棚(4)呈一开口状方框。
5.根据权利要求4所述的晶圆分断的自动检测装置，其特征在于：所述机架(1)靠近遮光摄影棚(4)开口的一侧设置有暂存框，所述暂存框包括待检测区(10)、合格区(11)和不合格区(12)。
6.根据权利要求5所述的晶圆分断的自动检测装置，其特征在于：所述传送装置采用机械手或传送带。
7.根据权利要求6所述的晶圆分断的自动检测装置，其特征在于：所述机架(1)底部四周均设置有垫脚(13)。
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