[实用新型]一种立式上料插片一体机有效
申请号: | 202020578013.8 | 申请日: | 2020-04-17 |
公开(公告)号: | CN212257432U | 公开(公告)日: | 2020-12-29 |
发明(设计)人: | 靳立辉;杨骅;耿名强;赵晓光;杜晨朋;尹擎 | 申请(专利权)人: | 天津环博科技有限责任公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677;B08B13/00;B07C5/34;B07C5/02;B07C5/36 |
代理公司: | 天津企兴智财知识产权代理有限公司 12226 | 代理人: | 苏冲 |
地址: | 300384 天津市滨*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种立式上料插片一体机,包括架体及设置在架体上的硅片传送设备;所述架体的一端设有用于承载转运硅片的承运水箱;所述架体上还设有用于将承运水箱内硅片输送至硅片传送带的上料单元;所述硅片传送设备远离上料单元的一端设有用于将硅片插入片篮的插片单元,插片单元的另一端设有片篮整列机构;所述架体上还对应设有用于将成组片篮转移至清洗工序的清洗机械手。本实用新型所述的一种立式上料插片一体机,为立式分片方式,有效降低碎片率;弹夹上料机、立式插片机、花篮上料机,三机合一,有效减少控制成本及材料成本,缩减占地面积。 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的