[实用新型]一种具有通用功能的晶圆片激光划片切割机有效
| 申请号： | 202020539614.8 | 申请日： | 2020-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN212070819U | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 戚孝峰;周鹏程 | 申请（专利权）人： | 争丰半导体科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/70;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 俞光明 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市相城区相城*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶圆加工生产设备的技术领域，具体为一种具有通用功能的晶圆片激光划片切割机，其包括机体，机体内设置有工作台，工作台上设置有晶圆片切割放置盘，机体内固定连接有承载台，承载台上端固定连接有支撑架，承载台上滑移连接有多个限位杆，多个支撑杆均匀分布在晶圆片切割放置盘的外侧。本实用新型在对晶圆片进行切割的时候，将晶圆片放置在晶圆片切割放置盘上端，移动晶圆片切割放置盘外侧的限位杆，限位杆能够对不同大小的晶圆片进行限位固定，从而晶圆片切割放置盘能够适应不同大小的晶圆片，能够在切割过程中对不同直径大小的晶圆片起到夹持的作用，从而不需要频繁的更换不同的晶圆片切割放置盘。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 通用 功能 晶圆片 激光 划片 切割机 | ||
【主权项】：
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