[实用新型]柔性膜及硅麦克风

摘要

本实用新型提供一种柔性膜及硅麦克风。包括柔性膜本体和位于柔性膜本体上的泄气结构，泄气结构包括依次蜿蜒连接的第一弧形缝、第一直线缝、第二弧形缝、第二直线缝、第三弧形缝、第三直线缝及第四弧形缝；泄气结构以第二直线缝的中点为中心呈圆心对称；第二弧形缝的弦长大于第一直线缝和第二直线缝之间的最小距离；第三弧形缝的弦长大于第二直线缝和第三直线缝之间的最小距离。本实用新型通过在柔性膜本体上设置蜿蜒曲折状的泄气结构，使得柔性膜在承受高气压冲击时，空气可以通过泄气结构快速释放出去，从而降低柔性膜所需承受的压力。且本实用新型还有助于改善麦克风的低频响应性能，可以降低泄气结构的破损的风险，有助于提高器件可靠性。