[实用新型]柔性膜及硅麦克风

权利要求书

1.一种柔性膜，所述柔性膜包括柔性膜本体和位于所述柔性膜本体上的泄气结构，其特征在于，所述泄气结构包括依次蜿蜒连接的第一弧形缝、第一直线缝、第二弧形缝、第二直线缝、第三弧形缝、第三直线缝及第四弧形缝；所述泄气结构以所述第二直线缝的中点为中心呈圆心对称；所述第二弧形缝的弦长大于所述第一直线缝和所述第二直线缝之间的最小距离，所述第三弧形缝的弦长大于所述第二直线缝和所述第三直线缝之间的最小距离；所述第二弧形缝和所述第三弧形缝均朝背离所述第二直线缝的方向凸起；所述第一弧形缝和所述第三弧形缝具有第一外公切线，所述第二弧形缝和所述第四弧形缝具有第二外公切线，所述第一外公切线与所述第二直线缝的夹角及所述第二外公切线与所述第二直线缝的夹角均为锐角。

2.根据权利要求1所述的柔性膜，其特征在于：所述第二弧形缝的弦长大于所述第一弧形缝的弦长，所述第三弧形缝的弦长大于所述第四弧形缝的弦长。

3.根据权利要求1所述的柔性膜，其特征在于：所述第一弧形缝、第一直线缝、第二弧形缝、第二直线缝、第三弧形缝、第三直线缝及第四弧形缝的宽度小于5微米。

4.根据权利要求1所述的柔性膜，其特征在于：所述第一弧形缝未与所述第一直线缝相连接的端部为圆弧状，所述第四弧形缝未与所述第三直线缝相连接的端部为圆弧状。

5.根据权利要求1所述的柔性膜，其特征在于：所述柔性膜本体的材料包括多晶硅。

6.根据权利要求1所述的柔性膜，其特征在于：所述第一弧形缝、第二弧形缝、第三弧形缝及第四弧形缝的弧度相同。

7.根据权利要求1-6任一项所述的柔性膜，其特征在于：所述泄气结构为多个，所述多个泄气结构沿所述柔性膜本体的周向均匀间隔分布。

8.一种硅麦克风，其特征在于，所述硅麦克风包括如权利要求1-7任一项所述的柔性膜。