[实用新型]等离子体反应器有效
| 申请号： | 202020468751.7 | 申请日： | 2020-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN211350572U | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 左涛涛;吴狄 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/66;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 徐雯琼;张静洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种等离子体反应器包括：反应腔，其内底部设导电基座，导电基座通过第一匹配器电路连到第一射频电源装置，导电基座上设静电夹盘，静电夹盘吸附待处理基片，待处理基片上为等离子体环境；插入环，围绕在导电基座外围，其内侧壁与导电基座的外侧壁之间的间隙大于0.02毫米小于10毫米；聚焦环，设在插入环上方，聚焦环围绕静电夹盘且暴露于等离子体环境中；耦合环，设置在所述插入环的下方，且环绕于所述导电基座的外围；设备板，位于导电基座下方；导线，其第一端电连接到导电基座或者设备板，其第二端电连接到插入环，可变阻抗装置串联在导线上。所述等离子体反应器中聚焦环上方的射频可调且能降低发生电弧放电的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 反应器 | ||
【主权项】：
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