[实用新型]一种高纯硅烷灌装设备有效
| 申请号： | 202020461350.9 | 申请日： | 2020-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN212005161U | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 祁卫华;王丹丹 | 申请（专利权）人： | 苏州嘉杰流体技术有限公司 |
| 主分类号： | F17C5/02 | 分类号： | F17C5/02;F17C13/02 |
| 代理公司： | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人： | 黄少波 |
| 地址： | 215101 江苏省苏州市吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高纯硅烷灌装设备，包括基座、集气箱、底座、壳体、罐体、固定机构、连接机构和除杂机构，所述集气箱可固定安装在基座的顶端左侧，所述底座可固定安装在基座的顶端中心位置，所述壳体可固定安装在基座的顶端右侧，所述罐体可放置在底座的顶端，所述固定机构装配在底座的一侧，所述连接机构装配在壳体与罐体的一侧，所述除杂机构装配在集气箱与罐体的一侧。该高纯硅烷灌装设备，不仅具有报警功能，可在气体发生泄漏时第一时间告知工作人员，大大提高了整体灌装的安全性，而且还可以将罐体内腔残留的气体排出，避免残留气体与灌入的硅烷相融合，影响罐体内腔硅烷的纯净度，实用性强，满足现有市场上的使用需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 硅烷 灌装 设备 | ||
【主权项】：
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