[实用新型]一种高纯硅烷灌装设备

说明书

本实用新型公开了一种高纯硅烷灌装设备，包括基座、集气箱、底座、壳体、罐体、固定机构、连接机构和除杂机构，所述集气箱可固定安装在基座的顶端左侧，所述底座可固定安装在基座的顶端中心位置，所述壳体可固定安装在基座的顶端右侧，所述罐体可放置在底座的顶端，所述固定机构装配在底座的一侧，所述连接机构装配在壳体与罐体的一侧，所述除杂机构装配在集气箱与罐体的一侧。该高纯硅烷灌装设备，不仅具有报警功能，可在气体发生泄漏时第一时间告知工作人员，大大提高了整体灌装的安全性，而且还可以将罐体内腔残留的气体排出，避免残留气体与灌入的硅烷相融合，影响罐体内腔硅烷的纯净度，实用性强，满足现有市场上的使用需求。

技术领域

本实用新型涉及气体灌装技术领域，具体为一种高纯硅烷灌装设备。

背景技术

硅烷即硅与氢的化合物，是一系列化合物的总称，包括甲硅烷、乙硅烷和一些更高级的硅氢化合物，应用最多的是甲硅烷，一般把甲硅烷简称做硅烷。

目前，现有的灌装装置结构简单、功能单一，其不具有报警功能，导致灌装连接处的位置如发生泄漏，工作人员无法第一时间得知，安全性低，并且，在进行灌装时，罐体内或多或少的残留一些气体，残留的气体会直接影响到罐体内硅烷的纯净度，给工作人员带来了许多不必要的麻烦，因此，基于以上缺点，现推出一种高纯硅烷灌装设备对此来进行改善。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高纯硅烷灌装设备，可以解决上述背景技术中提出现有的灌装装置不具有报警功能，无法第一时间得知灌装是否存有泄漏，以及罐体内残留的气体会影响硅烷纯净度的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高纯硅烷灌装设备，包括

基座；

集气箱，可固定安装在所述基座的顶端左侧；

底座，可固定安装在所述基座的顶端中心位置；

壳体，可固定安装在所述基座的顶端右侧；

罐体，可放置在所述底座的顶端；

还包括固定机构、连接机构和除杂机构，所述固定机构装配在所述底座的一侧，所述连接机构装配在所述壳体与所述罐体的一侧，所述除杂机构装配在所述集气箱与所述罐体的一侧。

优选的，所述固定机构包括转杆，所述转杆通过轴承安装在所述底座的内腔，所述轴承的内环与所述底座的内腔过盈配合，且轴承的外环与转杆的前后两端固定连接，所述转杆的外壁前后两侧均螺纹连接有连接板，所述连接板的顶端延伸出所述底座上表面开设的滑轨，所述连接板的内侧上下两端均安装有夹板，所述转杆的外壁中心位置过盈配合有第一锥形齿轮，所述底座的内腔右侧螺钉连接有电机，所述电机的左侧输出端通过联轴器锁紧有与第一锥形齿轮相啮合的第二锥形齿轮。

优选的，所述第一锥形齿轮与第二锥形齿轮之间相匹配且位置相对应。

优选的，所述连接机构包括电动推杆，所述电动推杆的底端螺钉连接在所述壳体的内腔底端，所述电动推杆的顶端安装有支撑板，所述支撑板的左侧延伸出所述壳体左端面开设的滑轨且安装有连接座，所述连接座的底端安装有连接管，所述连接管的底端设置有第一连接头，所述第一连接头的底端圆周安装有第一密封圈，所述罐体的进气管外壁圆周安装有第二密封圈，所述连接管的外壁螺纹连接有套筒，所述套筒的内壁螺纹连接在第一连接头与所述罐体的进气管外壁上，所述套筒的内腔圆周开设有通孔，所述套筒的顶端螺钉连接有硅烷报警器，所述连接座的顶端安装有进气软管的一端，且进气软管的另一端连接在外接进气装置上固定。

优选的，所述进气软管、连接座、连接管和第一连接头的内腔呈相通设置。

优选的，所述通孔的位置与第一连接头和所述罐体的进气管连接处相对应。