[实用新型]一种高纯硅烷灌装设备

权利要求书

1.一种高纯硅烷灌装设备，其特征在于：包括

基座(1)；

集气箱(2)，可固定安装在所述基座(1)的顶端左侧；

底座(3)，可固定安装在所述基座(1)的顶端中心位置；

壳体(4)，可固定安装在所述基座(1)的顶端右侧；

罐体(5)，可放置在所述底座(3)的顶端；

还包括固定机构(6)、连接机构(7)和除杂机构(8)，所述固定机构(6)装配在所述底座(3)的一侧，所述连接机构(7)装配在所述壳体(4)与所述罐体(5)的一侧，所述除杂机构(8)装配在所述集气箱(2)与所述罐体(5)的一侧。

2.根据权利要求1所述的一种高纯硅烷灌装设备，其特征在于：所述固定机构(6)包括转杆(61)，所述转杆(61)通过轴承安装在所述底座(3)的内腔，所述轴承的内环与所述底座(3)的内腔过盈配合，且轴承的外环与转杆(61)的前后两端固定连接，所述转杆(61)的外壁前后两侧均螺纹连接有连接板(62)，所述连接板(62)的顶端延伸出所述底座(3)上表面开设的滑轨，所述连接板(62)的内侧上下两端均安装有夹板(63)，所述转杆(61)的外壁中心位置过盈配合有第一锥形齿轮(64)，所述底座(3)的内腔右侧螺钉连接有电机(65)，所述电机(65)的左侧输出端通过联轴器锁紧有与第一锥形齿轮(64)相啮合的第二锥形齿轮(66)。

3.根据权利要求2所述的一种高纯硅烷灌装设备，其特征在于：所述第一锥形齿轮(64)与第二锥形齿轮(66)之间相匹配且位置相对应。

4.根据权利要求1所述的一种高纯硅烷灌装设备，其特征在于：所述连接机构(7)包括电动推杆(71)，所述电动推杆(71)的底端螺钉连接在所述壳体(4)的内腔底端，所述电动推杆(71)的顶端安装有支撑板(72)，所述支撑板(72)的左侧延伸出所述壳体(4)左端面开设的滑轨且安装有连接座(73)，所述连接座(73)的底端安装有连接管(74)，所述连接管(74)的底端设置有第一连接头(75)，所述第一连接头(75)的底端圆周安装有第一密封圈(76)，所述罐体(5)的进气管外壁圆周安装有第二密封圈(77)，所述连接管(74)的外壁螺纹连接有套筒(78)，所述套筒(78)的内壁螺纹连接在第一连接头(75)与所述罐体(5)的进气管外壁上，所述套筒(78)的内腔圆周开设有通孔(79)，所述套筒(78)的顶端螺钉连接有硅烷报警器(710)，所述连接座(73)的顶端安装有进气软管(711)的一端，且进气软管(711)的另一端连接在外接进气装置上固定。

5.根据权利要求4所述的一种高纯硅烷灌装设备，其特征在于：所述进气软管(711)、连接座(73)、连接管(74)和第一连接头(75)的内腔呈相通设置。

6.根据权利要求4所述的一种高纯硅烷灌装设备，其特征在于：所述通孔(79)的位置与第一连接头(75)和所述罐体(5)的进气管连接处相对应。

7.根据权利要求1所述的一种高纯硅烷灌装设备，其特征在于：所述除杂机构(8)包括连接软管(81)，所述连接软管(81)的一端安装在所述集气箱(2)的顶端，所述连接软管(81)的另一端安装有第二连接头(82)，所述第二连接头(82)螺纹连接在所述罐体(5)顶端设置出气管的外壁上，所述第二连接头(82)的顶端安装有气流计量器(83)，所述罐体(5)顶端设置出气管的外壁和连接软管(81)的外壁分别安装有第一电磁阀(84)和第二电磁阀(85)。