[实用新型]气浮旋转装置有效
| 申请号： | 202020457713.1 | 申请日： | 2020-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN212029017U | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 陈啸虎;吴火亮;瞿晓晨;黄传;杨日升;杨昊明;吴聪懿 | 申请（专利权）人： | 上海隐冠半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | F16M11/08 | 分类号： | F16M11/08;F16M11/18;F16C32/06 |
| 代理公司： | 上海上谷知识产权代理有限公司 31342 | 代理人： | 蔡继清 |
| 地址： | 200135 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种气浮旋转装置，包括：托盘；托盘支撑件，位于托盘下方，并相对于托盘径向固定，托盘支撑件包括：圆筒部；上端板，为从圆筒部的上边缘径向向外延伸的环形板；下端板，为从圆筒部的下边缘径向向外延伸的环形板；气浮套，围绕圆筒部设置，且设有与气源连通的内部气道，内部气道分别在气浮套的顶面、底面、以及径向内周表面设有开口；底座；旋转驱动装置，包括旋转驱动部和固定部，旋转驱动部与托盘支撑件固定连接，固定部与气浮套和底座固定连接。根据本实用新型的气浮旋转装置能够通过径向和端面气浮轴承为托盘提供旋转方向导向，从而实现托盘的高精度旋转运动。且气浮旋转装置结构简单，实现扁平化设计。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 装置 | ||
【主权项】：
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