[实用新型]气浮旋转装置

权利要求书

1.一种气浮旋转装置，其特征在于，包括：

托盘；

托盘支撑件，所述托盘支撑件位于所述托盘下方，并相对于所述托盘径向固定，所述托盘支撑件包括：

圆筒部，

上端板，所述上端板为从所述圆筒部的上边缘径向向外延伸的环形板，

下端板，所述下端板为从所述圆筒部的下边缘径向向外延伸的环形板，

气浮套，所述气浮套围绕所述圆筒部设置，且设有与气源连通的内部气道，所述内部气道分别在所述气浮套的顶面、底面、以及径向内周表面设有开口；

底座；

旋转驱动装置，所述旋转驱动装置包括旋转驱动部和固定部，所述旋转驱动部与所述托盘支撑件固定连接，所述固定部与所述气浮套和所述底座固定连接。

2.根据权利要求1所述的气浮旋转装置，其特征在于，

所述旋转驱动装置为旋转电机，所述旋转驱动部为电机动子，且所述固定部为电机定子。

3.根据权利要求1所述的气浮旋转装置，其特征在于，

所述托盘和所述托盘支撑件彼此固定连接而形成一体。

4.根据权利要求1所述的气浮旋转装置，其特征在于，

所述托盘支撑件由彼此连接的端面气浮导轨和气浮轴组成，所述端面气浮导轨构成所述上端板和所述圆筒部的上段，所述气浮轴构成所述下端板和所述圆筒部的下段。

5.根据权利要求1所述的气浮旋转装置，其特征在于，

所述气浮套的外周表面上设有进气端口，用于与所述气源连通。

6.根据权利要求5所述的气浮旋转装置，其特征在于，

所述气浮套内的所述内部气道包括从所述进气端口朝向所述气浮套的内周延伸的主气道和从所述主气道延伸的分支气道，所述分支气道在所述气浮套的顶面、底面、以及径向内周表面设有开口。

7.根据权利要求5所述的气浮旋转装置，其特征在于，

所述进气端口包括径向气浮轴承进气口和端面气浮轴承进气口，所述气浮套内的所述内部气道包括从所述径向气浮轴承进气口朝向所述气浮套的内周延伸的径向气浮主气道和与所述径向气浮主气道连通的径向气浮分支气道，所述径向气浮分支气道在所述气浮套的内周表面设有开口；所述气浮套内的所述内部气道包括从所述端面气浮轴承进气口朝向所述气浮套的内周延伸的端面气浮主气道和与所述端面气浮主气道连通的端面气浮分支气道，所述端面气浮分支气道在所述气浮套的顶面和/或底面设有开口。

8.根据权利要求7所述的气浮旋转装置，其特征在于，

所述径向气浮主气道包括多个径向延伸的径向气浮主气道，多个所述径向气浮主气道之一与所述径向气浮主气道连通，且多个所述径向气浮主气道通过周向延伸的径向导气通道彼此连通；且

所述端面气浮主气道包括多个径向延伸的端面气浮主气道，多个所述端面气浮主气道之一与所述端面气浮主气道连通，且多个所述端面气浮主气道通过周向延伸的端面导气通道彼此连通。

9.根据权利要求8所述的气浮旋转装置，其特征在于，

所述径向气浮主气道包括多个径向延伸的径向气浮主气道，多个所述径向气浮主气道分别与所述径向气浮轴承进气口连通；且

所述端面气浮主气道包括多个径向延伸的端面气浮主气道，多个所述端面气浮主气道分别与所述端面气浮轴承进气口连通。

10.根据权利要求8或权利要求9所述的气浮旋转装置，其特征在于，

多个所述径向气浮主气道和多个所述端面气浮主气道沿周向彼此交替布置。

11.根据权利要求8所述的气浮旋转装置，其特征在于，

每个所述径向气浮主气道的所述径向气浮分支气道包括至少一个径向延伸的径向气浮分支气道，所述至少一个径向延伸的径向气浮分支气道通过轴向延伸的轴向气道与所述径向气浮主气道连通。