[实用新型]气浮旋转装置

说明书

本实用新型涉及一种气浮旋转装置，包括：托盘；托盘支撑件，位于托盘下方，并相对于托盘径向固定，托盘支撑件包括：圆筒部；上端板，为从圆筒部的上边缘径向向外延伸的环形板；下端板，为从圆筒部的下边缘径向向外延伸的环形板；气浮套，围绕圆筒部设置，且设有与气源连通的内部气道，内部气道分别在气浮套的顶面、底面、以及径向内周表面设有开口；底座；旋转驱动装置，包括旋转驱动部和固定部，旋转驱动部与托盘支撑件固定连接，固定部与气浮套和底座固定连接。根据本实用新型的气浮旋转装置能够通过径向和端面气浮轴承为托盘提供旋转方向导向，从而实现托盘的高精度旋转运动。且气浮旋转装置结构简单，实现扁平化设计。

技术领域

本实用新型涉及集成电路装备制造领域，更具体涉及一种气浮旋转装置。

背景技术

近年来，随着大规模集成电路器件集成度不断提高，工件台的精度和产率需求不断提高，尤其是旋转台的运行速度、加速度、性能的要求也不断地提高。比如，半导体硅片膜厚的检测领域。旋转台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及元器件的质量测试等；因此，对于结构简单，且性能更高的旋转台需求非常迫切。目前，高性能旋转台中最常见结构形式的是气浮旋转台。

比如，在中国专利CN103542241A中，公开了一种气浮转台，气浮转台中气浮垫设置了两个上气浮面与下气浮面，气浮垫表面与气浮导轨内表面实现间隙配合。上气浮面，下气浮面，以及气浮垫内表面设置多个与外部外部连接的出气孔。该实用新型可实现运动台旋转。但气路结构较为复杂，高度尺寸偏大，在空间狭小的设备当中不能使用。

因此，现阶段需要一种新的高精度气浮旋转台，既能解决传统气浮转台结构复杂等问题，又能实现结构尺寸扁平化设计。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种结构简单、加工成本低且整体尺寸紧凑扁平的气浮旋转装置。

具体地，本实用新型提供一种气浮旋转装置，包括：

托盘；

托盘支撑件，所述托盘支撑件位于所述托盘下方，并相对于所述托盘径向固定，所述托盘支撑件包括：

圆筒部，

上端板，所述上端板为从所述圆筒部的上边缘径向向外延伸的环形板，

下端板，所述下端板为从所述圆筒部的下边缘径向向外延伸的环形板，

气浮套，所述气浮套围绕所述圆筒部设置，且设有与气源连通的内部气道，所述内部气道分别在所述气浮套的顶面、底面、以及径向内周表面设有开口；

底座；

旋转驱动装置，所述旋转驱动装置包括旋转驱动部和固定部，所述旋转驱动部与所述托盘支撑件固定连接，所述固定部与所述气浮套和所述底座固定连接。

在一实施例中，所述旋转驱动装置为旋转电机，所述驱动部为电机动子，且所述固定部为电机定子。

在一实施例中，所述托盘和所述托盘支撑件彼此固定连接而形成一体。

在一实施例中，所述托盘支撑件由彼此连接的端面气浮导轨和气浮轴组成，所述端面气浮导轨构成所述上端板和所述圆筒部的上段，所述气浮轴构成所述下端板和所述圆筒部的下段。

在一实施例中，所述气浮套的外周表面上设有进气端口，用于与所述气源连通。

在一实施例中，所述气浮套内的所述内部气道包括从所述进气端口朝向所述气浮套的内周延伸的主气道和从所述主气道延伸的分支气道，所述分支气道在所述气浮套的顶面、底面、以及径向内周表面设有开口。