[实用新型]一种压片吹气装置

摘要

本实用新型公开一种压片吹气装置，包括吹气设备，吹气管，进气管，固定块以及固定连接板；所述固定连接板安装在EL测试机台的感应器支架上，固定连接板上端与固定块一端连接，固定块的另一端与吹气管连接，使吹气管固定在通过皮带传输过来的硅片的上方，且吹气管与硅片运动的方向平行；所述吹气管面向硅片的管壁上设有多个吹气孔；所述吹气管上还设有进气孔，所述进气管的一端与进气孔密封连接，另一端与吹气设备连接；所述吹气管的两端密封。本实用新型有效地减少硅片在传输中，经分段皮带处因翘曲导致的跳片，导致的自动化进片异常报警频次，大大的减少了人员的工作量，提升设备稼动率的同时也提高了产能。