[实用新型]一种铝锌铝电容器用金属化薄膜蒸镀机

摘要

本实用新型公开了一种铝锌铝电容器用金属化薄膜蒸镀机，包括真空室，所述真空室内设有冷却主鼓机构、放卷机构及收卷机构，所述冷却主鼓机构与放卷机构、收卷机构之间均设有导辊，所述冷却主鼓机构位于所述放卷机构与收卷机构之间的下方，所述冷却主鼓机构下方设有锌蒸发源，所述锌蒸发源的两侧分别设有第一铝蒸发源与第二铝蒸发源，所述第一铝蒸发源包括第一氮化硼蒸发舟及第一送丝机构，所述第二铝蒸发源包括第二氮化硼蒸发舟及第二送丝机构。本实用新型高温工作时不会与熔融金属反应，能有效保证金属化薄膜的蒸镀纯度，同时蒸发舟的蒸发量可控，蒸镀的金属化薄膜镀层均匀、厚度可控。