[实用新型]一种低温探针台及其测试腔组件有效
| 申请号： | 202020343379.7 | 申请日： | 2020-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN211785920U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 宋风宽;周昌峰 | 申请（专利权）人： | 郑州科探仪器设备有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/067;G01R1/02 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 王学芝 |
| 地址： | 450000 河南省郑州市高新技术*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种低温探针台及其测试腔组件，测试腔组件包括外壳和外壳上盖板，外壳和外壳上盖板形成测试腔，外壳上盖板上设置有用于供显微镜观察的观察窗，测试腔内设置有供测试件放置的载物台和探针，该测试腔组件还包括用于对载物台进行降温的半导体制冷器，半导体制冷器的冷端与载物台接触以对载物台及其上的测试件进行降温处理。在测试时，将测试件放置于测试腔中的载物台上，通过半导体制冷器对载物台进行降温，进而对载物台上的待测试件进行降温，能够研究半导体等材料在低温条件下的性能测试。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低温 探针 及其 测试 组件 | ||
【主权项】：
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