[实用新型]一种低温探针台及其测试腔组件

说明书

本实用新型涉及一种低温探针台及其测试腔组件，测试腔组件包括外壳和外壳上盖板，外壳和外壳上盖板形成测试腔，外壳上盖板上设置有用于供显微镜观察的观察窗，测试腔内设置有供测试件放置的载物台和探针，该测试腔组件还包括用于对载物台进行降温的半导体制冷器，半导体制冷器的冷端与载物台接触以对载物台及其上的测试件进行降温处理。在测试时，将测试件放置于测试腔中的载物台上，通过半导体制冷器对载物台进行降温，进而对载物台上的待测试件进行降温，能够研究半导体等材料在低温条件下的性能测试。

技术领域

本实用新型涉及测试设备领域，具体涉及一种低温探针台及其测试腔组件。

背景技术

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、超导、集成电路等领域，用来测试芯片、气体传感器以及封装器件的测试。旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。探针台一般包括供芯片安装的测试腔组件和设置于测试腔组件上方的显微镜。现有的探针台包括温控探针台，可以对测试腔组件芯片的测试环境温度进行调节，但是大多都是只能升温，而不能研究试样在低温情况下的性能。一些半导体或导电性产物，在低温下甚至可以变成超导体的特性，因此对上述试样进行低温研究是十分必要的。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种低温探针台的测试腔组件，以解决现有技术中存在无法降温以研究芯片在低温下的性能的问题；同时，本实用新型的目的还在于提供一种使用上述测试腔组件的的低温探针台。

为实现上述目的，本实用新型的一种低温探针台的测试腔组件采用如下技术方案：一种低温探针台的测试腔组件，包括外壳和外壳上盖板，外壳和外壳上盖板形成测试腔，外壳上盖板上设置有用于供显微镜观察的观察窗，所述测试腔内设置有供测试件放置的载物台和探针，该测试腔组件还包括用于对载物台进行降温的半导体制冷器，半导体制冷器的冷端与载物台接触以对载物台及其上的测试件进行降温处理。

所述测试腔组件还包括用于对半导体制冷器的热端进行散热的散热装置。

所述散热装置包括用于与壳体密封配合的水冷板，水冷板上设置有冷却水进口、冷却水出口和水冷通道，水冷板上具有与半导体制冷器的热端接触散热的散热结构。

所述测试腔组件还包括设置于外壳下方的底座，底座具有供水冷板安装的安装腔，安装腔的腔壁上设置有散热格栅。

所述半导体制冷器为两级以上的多级半导体制冷结构。

本实用新型的一种低温探针台采用如下技术方案：一种低温探针台，包括测试腔组件和显微镜，测试腔组件包括外壳和外壳上盖板，外壳和外壳上盖板形成测试腔，外壳上盖板上设置有用于供显微镜观察的观察窗，所述测试腔内设置有供测试件放置的载物台和探针，该测试腔组件还包括用于对载物台进行降温的半导体制冷器，半导体制冷器的冷端与载物台接触以对载物台及其上的测试件进行降温处理。

所述测试腔组件还包括用于对半导体制冷器的热端进行散热的散热装置。

所述散热装置包括用于与壳体密封配合的水冷板，水冷板上设置有冷却水进口、冷却水出口和水冷通道，水冷板上具有与半导体制冷器的热端接触散热的散热结构。

所述测试腔组件还包括设置于外壳下方的底座，底座具有供水冷板安装的安装腔，安装腔的腔壁上设置有散热格栅。

所述半导体制冷器为两级以上的多级半导体制冷结构。

本实用新型的有益效果：在测试时，将测试件放置于测试腔中的载物台上，通过半导体制冷器对载物台进行降温，进而对载物台上的待测试件进行降温，能够研究半导体等材料在低温条件下的性能测试。

附图说明

图1是本实用新型的一种低温探针台的一个实施例中的结构示意图；

图2是图1中低温探针台的爆炸图；