[实用新型]具有双向载料轨迹的镀膜系统

摘要

一种具有双向载料轨迹的镀膜系统，适用于在多个工件上形成镀膜，具有双向载料轨迹的镀膜系统包含反应腔体、两个载料腔体及两个输送单元。反应腔体包括用来镀膜的反应室、至少一靶材及第一闸门与第二闸门。载料腔体分别设置于第一闸门与第二闸门，每一载料腔体包括载料室。输送单元分别用来载送工件沿第一载料轨迹及第二载料轨迹移动，第一载料轨迹由其中一载料室进入所述反应室内，再由反应室返回其中一载料室，第二载料轨迹由另一载料室进入反应室内，再由反应室返回另一载料室。通过采用载料腔体配合输送单元的双向交替载料方式，能依实际作业需求选择搭配一条或两条生产线使用，适用性较佳。