[实用新型]一种应用于半导体设备的液体管路侦测装置有效
| 申请号： | 202020262856.7 | 申请日： | 2020-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN211780227U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 彭代全 | 申请（专利权）人： | 上海裕诗实业有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/08 | 分类号： | F17D1/08;F17D5/00;F17D3/01 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人： | 王一琦 |
| 地址： | 201620 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种应用于半导体设备的液体管路侦测装置，其包括：管路本体，设置在半导体设备中，管路本体包括沿液体流向依次设置的第一管路本体和第二管路本体，第一管路本体和第二管路本体经电磁阀相连通或断开；压力开关，设置在第二管路本体上；PLC控制单元，用于采集电磁阀的启停信号及压力开关的压力信号；应急清洁管道，一端与第一管路本体相连通，应急清洁管道的另一端与三通阀的入口相连通，三通阀的第一出口与第二管路本体相连通，三通阀的第二出口与排污管相连通，其中，应急清洁管道上设有第一手动开关阀，排污管上设有第二手动开关阀。本实用新型能使故障被快速准确地检测出来，还能提高第二管路本体的清洁度和使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 半导体设备 液体 管路 侦测 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海裕诗实业有限公司，未经上海裕诗实业有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202020262856.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种单手臂拆垛系统
- 下一篇：一种共享单车固定停车用停车桩
